文档介绍：分类号学号 09030039
U D C 密级公开

工学硕士学位论文
一种新型硅微加速度计的
设计与制造工艺研究

硕士生姓名吕宇
学科专业机械工程
研究方向微机电系统与微纳器件
指导教师崔红娟副教授

国防科学技术大学研究生院
二〇一一年十一月
一
种
新
型
硅
微
加
速
度
计
的
设
计
与
制
造
工
艺
研
究

国
防
科
学
技
术
大
学
研
究
生
院
Design and Fabrication of a Novel Silicon
Micro-accelerometer

Candidate:Lv Yu
Advisor:Cui Hongjuan

A dissertation
Submitted in partial fulfillment of the requirements
for the degree of Master of Engineering
in Mechanical Engineering
Graduate School of National University of Defense Technology
Changsha,Hunan,
November,2011
国防科学技术大学研究生院硕士学位论文
目录
摘要.................................................................................................................. i
ABSTRACT......................................................................................................... ii
第一章绪论........................................................................................................ 1
课题的研究背景与意义................................................................................ 1
国内外研究现状............................................................................................ 2
国外微加速度计研究现状.................................................................. 2
国内微加速度计研究现状.................................................................. 6
第二章加速度计结构设计................................................................................... 8
加速度计的整体结构设计............................................................................ 8
硅-玻璃结构的确定........................................................................... 8
梁-质量块结构的选择........................................................................ 9
片上匹配电容结构的考虑.............................................