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研究生签名:兰』缇猛弋研究生签名:圣德遮导师签名:期:颍盒郝岽东南大学学位论文独创性声明东南大学学位论文使用授权声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外,允许论文被查阅和借阅,可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布ǹ授权东南大学研究生院办理。
叙述了终端式微波功率传感器的传热学原理及热电效应。在此基础上,提出了一种新型的对称式微波功率传感器。与传统微波功率传感器相比,这种新结构的右端加入了与左端完全相同的共面波导传输线、终端负载电阻和热电堆。微波功率首先通过左端共面波导涓斩烁涸氐缱枋蛊浞⑷龋攘渴狗胖迷谧蠖烁涸氐缱韪浇淖端热电堆的温度升高,同时,右端的终端负载电阻也吸收直流功率的能量从而使右端热电堆的温度升高,通过调节右端直流功率的大小,使左右两端的热电堆输出端热电势相等,则左端待测微波信号的微波功率就等于右端负载电阻消耗的直流功率,从而很方便的实现用直流功率来替代微波功率的目的,实现直接测量,而传统的微波功率传感器要根据输出的电压反推输入的微波功率。与传统的微波功率传感器相比,这种新型对称式的微波功率传感器利用差分原理,由于两端的热损失相同,所以抵消了各种热损失所带来的测量误差,并且消除了温度漂移。然后,建立了该传感器的热学解析模型,利用D饬舜ǜ衅鞯奈露确植家匝橹じ萌妊P偷恼沸裕淮送猓么ǜ衅魑波损耗模型推导了微波损耗功率和损耗电压的表达式。接着,设计了这种新型传感器的版图和工艺制备流程,并对流水后的传感器芯片进行了测试和分析。针对微波功率传感器输出的是微弱信号,设计了微波功率传感器的检测系统。检测系统由放大电路和低通滤波电路组成,分别对放大电路、低通滤波电路和检测系统进行了模拟仿真;通过制备笥侄云涓髯越辛瞬馐苑治觥通过搭建一个测试平台对微波功率传感器和检测系统进行整体测试,测试结果表明检测系统可以很好放大处理微波功率传感器输出的微弱信号。最后,对本文进行了总结,归纳了微波功率传感器存在的不足之处,有待于以后进行深入研究和改进。关键词:,猿剖剑⒉üβ蚀ǜ衅鳎觳庀低
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目录摘要⋯⋯⋯第一章第二章第三章呗邸簂微电子机械系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯的定义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.的特点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯发展的技术基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯的应用领域⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..微波功率传感器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⒉üβ蚀ǜ衅鞯睦嘈汀.⒉üβ蚀ǜ衅鞯挠τ谩微波功率传感器检测系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.放大电路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.瞬ǖ缏贰本论文的主要研究工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..微波功率传感器的原理与结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯微波功率传感器的传热学原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⒎址匠淌健微波功率传感器的热电效应⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.微波功率传感器的模拟、制作与测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。微波功率传感器的模拟⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯....⒉⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯...
微波功率传感器的测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第四章微波功率传感器检测系统的设计与仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯