文档介绍：检测危险气体的石英晶振微天平气体传感器的研究天津理工大学研究生学位论文昵胨妒垦学科专业:安全技术及工程研究方向:安全监测、监控与管理工程作者姓名:胡瑛指导教师:张嘉琪教授年中图分类号:学科分类号:密级:.
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导哗:骺砺学位论文作者签名:翻谈签字日期:,辍墼碌笕学位论文版权使用授权书学位论文作者签名::沁叁盗墨墨盘堂墨盗墨墨太堂有关保留、使用学位论文的规定。:本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。、.本学位论文作者完全了解有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编,以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复本和电子文件。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得
摘要为了弥补传统气体传感器气体检测精度不高这一不足,本文使用石英晶振微天平,气体传感器对危险气体进行检测。实验过程中,通过对镀膜工艺的改进,自主研制了旋转镀膜机,使用旋转镀膜机进行对石英晶振片的镀膜,其成膜即快又均匀;在进气装置中,采用静态塑料袋进气法,尽可能的排除了环境当中的干扰因素;使用了实验组自主编制的基于鯡教ǖ腝气体传感器频率测试程序对测试结果进行记录。本论文在一定温度条件下进行试验,利用宕ǜ衅鳎饕2馐粤似咧置舾心对二甲苯气体和正己烷气体的响应特性。主要对二甲苯气体及正己烷气体响应特性进行研究,主要测试其响应性,稳定性,重复性,以及不同浓度气体频率响应的线性关系。通过对实验数据的分析,得出以下结论:二氧化钛敏感膜对二甲苯气体及正己烷气体的响应性和重复性最好,其稳定性较高;二氧化钛敏感膜对气体的选择性最好;二氧化钛敏感膜与不同浓度的正己烷气体的响应频率具有良好的线性关系。关键词:石英晶振微天平气体传感器危险气体响应特性~▲·
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宕ǜ衅鞯墓ぷ髟怼实验仪器与试剂⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯气体检测⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..石英晶振微天平气体传感器的简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..宕ǜ衅魑教匦匝芯康闹饕P阅苤副昱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.ǜ衅鞯墓谕庋芯肯肿础⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯危险气体的性质及危害⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.妆狡宓男灾始拔::Α甹⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯论文主要工作内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第二章宕ǜ衅鞯墓ぷ髟砑安馐韵低场压电效应⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯绞颇芾砺邸!吸附一脱附过程分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..宕ǜ衅鞯牟馐韵低场.⒕⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.石英晶片的清洗⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..气敏材料的制各⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..镀膜工艺及其优缺点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..目▲
基础频率测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯气体的配置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验操作方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.涂层量对实验结果的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第五章结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯..发表论文和科研情况说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..致●~
第一章绪论气体检测随着科技的进步,各种层出不穷的新材料、新技术在造福于人类的同时,也在危害周围的环境以及人类的身体健康,各项实验数据向我们表明,许多的突发或慢性疾病的发生都与这些材料产生的有毒有害的危险气体有关【。随着社会越来越正视这个问题,以及个人安全意识和环保意识的提高,人们对自身的生活大环境中大气污染及工业废气、居住环境中的室内挥发性气体、工作环境中的质量的要求也随之提