文档介绍：传说中的“神器”—LODTM目录:,随着国防技术和尖端技术发展的需要,美国首先发展了金刚石***精密切削技术,当时称为“SPDT技术”(SignalPointDiamondTurning)或者“微英尺技术”。1微英尺=,世界上超精密加工最高水平的三台大型超精密机床分别是:美国LLNL国家实验室的DTM—3型卧式大型光学金刚石车床、LODTM型立式大型光学金刚石车床和英国Cranfield公司研制成功的OAGM—2500型超精密机床。美国LLL实验室的LODTMLLL=LowrenceLivermoreNationalLaboratory(美国劳伦斯里弗莫尔国立研究所)https://TM由美国国防部高等研究计划局(DARPA)投资1300万美元,LLL实验室和空军Wright航空研究所等单位合作研制。1980年3月开始到1983年7月初步制成加工光学零件的LODTM大型光学金刚石切削机床(LargeOpticalDiamondTurningMachine),历时40个月。1984年LODTM正式研制成功。该机床可加工大型金属反光镜的范围:尺寸:Φ1625*500mm重量:1360kg机床结构:立式(减小工件重量产生的变形)机床主轴:油静压径向轴承,液体静压止推轴承,柔性连接驱动方式机床导轨:X轴为V一平面液体静压导轨Z轴为平面空气静压导轨机床底座:,花岗岩热膨胀系数低,稳定性好,对振动的衰减能力比钢强15倍。机床结构特点::≤、铜、硅、金或镍的薄丝时,工件在水平旋台上1s内旋转约50次。。实测机床精度:(p-V值和RMS值)(FastToolServo)。该装置与机床的控制系统相连,形成闭环控制系统,可用于误差补偿。装置移动部分380g,自振频率1kHz,,最大位移量±。1-压电伸缩传感器2-制成弹性膜3-差动电容器4-基体5-,选用HP(Hewlett一Parkard)平面镜干涉仪为系统的光学测量部分,基于干涉仪的外差信号,,一个激光源为所需7个激光干涉仪提供输人光束,为达到精确的测量,使用碘稳定He一Ne激光为波长基准。X向:4路,测量大溜座的x向位移,包括位移、歪斜和倾斜。z向:3路,测量刀座垂直运动时的位移和歪斜。(隔振弹簧)其中的两个内部相连,,隔振墙和单独地基