文档介绍：堡金全娄全因堕互多星蒸旦墓麦面这跤跖ぴ酵西南交通大学研究生学位论文能丛究萍壑咀年姓专二零一一年五月十二目级三名国内图书分类号:国际图书分类号:密级:公开
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学位论文作者签名./却醐一巩瓯。西南交通大学硕士学位论文主要工作毕声明本人在学位论文中所做的主要工作或贡献如下:梅瞧胶獯趴亟ι涑粱椒ㄔ诼梁辖鸨砻嬷票窽/和三种不同的中间过渡层。采用微波电子回旋共振。等离子体增强化学气相沉积—的方法在过渡层基础上制备类金刚石薄膜,形成多层以及梯度功能类金刚石薄膜。芯苛嘶母浩苟訲/薄膜结构和性能的影响:优化了氮化钛过渡层的厚度对疶//多层薄膜机械性能的影响。//薄膜,系统的评价了脉冲沉积偏压对∧せ敌阅艿挠跋臁教植煌嘈偷墓刹愣訢薄膜的硬度、结合力、耐磨损、耐腐蚀性能的影响。本人郑重声明:所呈交的学位论文,是在导师指导下独立进行研究工作所得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中作了明确的说明。本人完全了解违反上述声明所引起的一切法律责任将由本人承担。
的断裂韧性以及膜基结合力使疭心薄膜具有最为优异的耐磨性能。同时装评价方法,半定量的评价出疭心薄膜获得较低的摩擦阻力,良好的润滑效果摘要/疶哦嗖惚∧ぶ涔钩闪慕峁购凸δ芴荻缺浠琓薄膜达到性能和膜基结合力最为优良。薄膜中的摩擦学特性不仅与峁沟暮坑泄兀用和心作为反应气体制备含氢的类金刚石薄膜:。使用扫描电子显微镜、面沉积∧ぃ珼薄膜中蛃键成分没有明显变化;相对高的硬度、。通过非平衡磁控溅射沉积方法获得、疶蚐屑涔刹悖湎哐苌洹⒓す饫馄椎妊芯渴侄味匝沸蚊埠徒峁菇辛吮碚鳎焕孟晕⒂捕仪、划痕仪和摩擦磨损试验机等对复合薄膜的硬度、结合力和摩擦学特性进行了研究;利用电化学腐蚀试验评价了多层薄膜的耐腐蚀性。研究结果表明:对∧ちρеС抛饔茫珼薄膜优异的机械性能得以发挥。屑涔刹愕某积偏压类型、大小以及厚度对薄膜体系的机械性能有着较大的影响。直流偏压相对脉冲偏压制备的∧ぞ弑父叩挠捕取⒛湍ニ鹦浴⒛せ岷狭Γ渲厚度的过渡层获得的多层薄膜性能最为优异。苑蔷ぷ魑V屑涔刹悖纬蒁//多层薄膜。探讨了不同脉冲偏压下制备的∧さ慕峁购突敌阅堋T冢钠狗段冢孀懦粱负偏压的增加,薄膜中的恐鸾ソ档汀⒂捕纫约澳谟α档汀⒈∧ぬ逑档亩狭韧性增加,但多层薄膜的膜基结合力和耐磨性能降低。.偏压下制备的薄膜摩擦学还与薄膜中氢含量有关。治隽瞬煌刹、/对∧ば阅苡跋臁2煌刹惚疭疉∧ぞ弑父叩淖匀桓吹缥缓拖喽粤己玫母葱蚊玻眉费梗欤Σ凉和高的界面结合力。本文采用的“溅射沉积过渡层薄膜沉积”的复合表面改性技术可以提高铝合金表面机械性能。其中疭疉嗖惚∧け砻娓男跃哂凶钣乓斓淖酆狭ρ阅堋第
西南交通大学硕士研究生学位论文第关键词:铝合金;类金刚石薄膜;过渡层;微波电子回旋共振等离子增强化学气相沉积;机械性能
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.甀目录湎哐苌①西南交通大学硕士研究生学位论文第第滦髀邸铝及铝合金表面改性的进展与现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.嘟鸶帐∧∧じ男浴铝合金表面类金刚石薄膜改性存在的难点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯复合、多层与梯度类金刚石薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本文的选题意义和研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第率笛榉椒ā薄膜制备设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.瞧胶獯趴亟ι砗蜕璞浮.⒉ǖ缱踊匦舱竦壤胱犹逶銮炕喑粱甈砗蜕璞福基体材料的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..薄膜成分与结构表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..す釸光谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.晕⒂.∧さ哪透葱阅芷兰邸第翫/疶疉嗖愀春媳∧さ闹票讣凹觳狻疶∧ぶ票赣肫兰邸.
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