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⋯一躲参怦⋯瓤刈小帅~渺琢月澎日艺谬浙江大学研究生学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书,哆刘果,也不包含为获得逝姿盘鲎或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一本学位论文作者完全了解逝姿盘鲎论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝姿盎堂可以将学位论文的瓤,酢瘛瘢沙本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。有权保留并向国家有关部门或机构送交本全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ签字日期:年字导师签名:名签者论日位畃.。。.●
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摘的疌纳米多层膜。眦的多层膜具有最低磨损率~要矿、,.薄膜具有的高硬度和很好的回复性能,且薄膜在潮湿环境本文设计并采用直流磁控溅射技术制备了两相纳米结构碳氮膜、类富勒烯,峁固嫉!⒑逊蔷嫉1『吞嫉;擅锥嗖隳ぃ⒍蕴嫉基薄膜的组织结构、表面形貌和机械性能进行了分析研究。探索了薄膜组织结构和机械性能的变化规律与内在机理。采用磁控溅射呶峦嘶鸫砹讲椒ㄔ趕迳铣晒χ票噶擞删】粒和非晶态基体组成的两相纳米结构碳氮薄膜。这些纳米晶颗粒在非晶基体中分布均匀,且随退火时间的增加,颗粒尺寸逐渐变大,直径约为,这些晶态颗粒为瓹峁沟睦砺鄢蔡嫉O唷8春辖峁固嫉1∧ご锏礁叩挠捕矣捕炔凰嫱嘶鹗奔涞谋浠蠓炔ǘ在沉积温度、不同氮气分数条件下制备了碳氮膜。,薄膜从非晶结构转变为具有类富勒烯微结构,在全气氛下生成了纳米晶石墨/非晶复合结构特征的碳氮膜。不同分数下制备的碳氮薄膜微结构差别主要在于弯曲的石墨基片曲率大小不同。结合、治鋈啡细焕障┨嫉1∧,对环境敏感性较低。采用直流磁控溅射制备了不同调制周期亩嗖隳つΣ料凳和磨损率分别为..ǎ捕任=闲〉髦浦芷的多层膜有好的耐磨性能和高的硬度。同时在和沉积温度下制备人的一组疌多层膜。在条件下制备的薄膜只有很小的界面层,而在沉积温度条件下制备的多层膜则没有界面层。沉积温度条件下制备的多层膜中存在一种晶体生长的“互促效应”。碳氮调制层发生部分晶化,,且薄膜具有超高硬度6訲/嗖隳さ纳そ峁购统蚕象,从混合法则和实验分析两方面进行了解释。在瓹与合金基体之间形成结构组成呈均匀梯度变化的/间层,即/疌梯度多层膜。与瓹单层膜相比,该结构的,荻饶具有结合强度高、硬度高、内应力小和摩擦系数小的优点。设计的/疌梯度多层膜和单层碳氮膜的硬度、结合力、.、
的富瓹籹在合金基体上溅射沉积了厚度均为岬,含~.性变形能力和弹性回复率。痵擅锥嗖隳さ哪Σ料凳湍ニ鹇仕娴升而表现出下降趋势。设计了调制周期人和层纳米多层膜,其中人的薄膜呈现复合结构。。与单层膜相比,√嗖隳ぞ哂行∧谟力和高的硬度。调制周期的疌多层膜具有最高硬度妥低内应力D擅谆潦笛檠芯勘砻鞯髦浦芷诒浯笙灾档投嗖隳さ目顾制周期的增大而减小。.%的瓹薄膜。含钛.%的瓹薄膜显微结构呈不稳定的非晶组织,而含钛..%的∧こ誓擅赘春辖峁埂K孀臗薄膜中钛含量的增加,掺杂物的引入并与碳氮成键,倾向于替代约跎偌潜湫危痵键的含量也逐渐增加含钛非晶碳氮薄膜的硬度随含量的增大而增加。在..%时达到M保琣薄膜与基体界面结合力随着含量的增加而增大,在..%贝锉ズ5玊扛叩姆蔷嫉1∧つ谟απ 1∧さ哪Σ料凳在洌却縜薄膜低。薄膜在室温’D馓逡褐械缁Ц葱阅苡腩押辖鹣啾龋琣薄膜的击穿电位出和腐蚀电位盯要明显高出很多,而腐蚀电流密度暝蛞5统一个数量级。在/瓹薄膜中则可以看到腐蚀电流密度仃、、册的显著改变。掺入钛后,薄膜的极化曲线都向高电位和低电流密度方向移动。含钛较小的∧ぞ哂杏行У目垢醋饔谩关键词:非晶碳氮薄膜;纳米结构;类富勒烯结构;多层膜;硬度;内应力;摩擦磨损;电化学腐蚀、浙江大学博士学位论文.
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