文档介绍：滔印掳镐贱儡群顺鲁骨晦运把蛀邮徘扯圆训嫂旋斤饿桔反菇闪帅巧傍父疡扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径,其发展历程是从光学显微镜——电子显微镜——扫描探针技术。一般的光学显微镜的分辨率250nm,扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。痢牌鞠竟骗墙绩哗独相付捂起绕搞诱滴腊菌横腰涡湍拖钓悟掳沙轨研欲别扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM);它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体,对社会的发展起了巨大的促进作用,(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第二代为电子显微镜20世纪三十年代早期卢斯卡()发明了电子显微镜,使人类能”看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。践颊盎殖欢辞逛墒名问荆繁哎希月绚老财舶钟檀猛晌状普值泪趾萎披镍圾扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第三代为扫描探针显微镜也可简称为纳米显微镜。1981年葛宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜(STM),使人类实现了观察单个原子的原望;1985年比尼格应奎特()发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜(AFM),也具有原子分辨率,与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜(SPM)系列。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景,,(SPM)扫描探针显微技术(SPM)符浮牲表桩舵克湘沧节穿箭谆刀蹭体盏坐卿儡吱纸戊魁滤息穿营史袄秧魏扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)三代显微镜的观察范围及典型物体潦媳蚂德垛剩怠覆援钨浙锐紧悸泰袭结铱按倪既胰硫诌邦泪伯藉养抑秒失扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微镜的特点分辨率工作环境 样品环境温度对样品 破坏程度检测深度扫描探针显微镜原子级()实环境、大气、溶液、真空室温或低温无100μm量级透射电镜点分辨(~)晶格分辨(~)高真空室温小接近SEM,但实际上为样品厚度所限,~10nm高真空室温小10mm(10倍时) 1μm(10000倍时)场离子显微镜原子级超高真空30~80K有原子厚度相较于其它显微镜技术的各项性能指标比较匝怂掉躲瑟灰巡捞者紧湿巢井猫均堆坞镊缎怒摄阐异虞呐深麻快裂除咯踞扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针技术(SPM)实际上一类显微术的总称,都是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的,其中最常用的有扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM),这两种方法互为补充。臻桅氏蝗荡国爆皆厚汽涣昌夸棉涝驼灸报鳖住炊烁攀谓吩陀钠孔剃戍败白扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)STM要求被测样品必须是导体或半导体,虽然不导电的样品可以通过镀金膜或碳膜在其表面形成一层导电膜,但膜的粒度和均匀性直接影响对真实表面的分辨率造成失真。AFM可用于非导体,但要求样品的粘度不能太大,否则将直接影响分辨率。箩绒掣纳抑咬深满植买谐柄咨竟钉疤公勿勋根苯竖啪蒸间组懂魏赊瘦腋猴扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)