文档介绍：西安电子科技大学
硕士学位论文
MEMS粗糙表面接触研究
姓名:赵靖松
申请学位级别:硕士
专业:机械电子工程
指导教师:田文超
20080101
摘要是科学技术不断进步和人们不断追求机械装置的小型化、微型化的产物。产品有着广阔的发展前景和潜在的巨大商业价值,在现代商业竞争中触的实质,并提供了一种符合工程实际的纳米接触力的计算方法,为的结附现象,并阐述了研究纳米接触问题的三种研究方法:量子力学法、分子动力学法和连续介质法;对分子动力学法和连续介质法的研究状态作了具体介绍,同时介质法对其粘附力作了计算分析。针对工程实际中的粗糙表面接触问题,提出了一种新的单峰模型。计算并分析了传统理论存在的不足,仿真了传统计算的形貌,并利用概率论和随机分布理论的知识,对粗糙表面接触建立了物理模型。分别用传统方法和本文所提出的方法,对悬臂梁与基底的接触进行计算,得到传计算的误差也将增大的结论;讨论了影响表面间粘附力大小的因素。占据越来越重要的地位。然而,要使实现真正的产业化,还面临许多亟待解决的问题,如粘着、静电力计算、微流、纳米摩擦、检测、薄膜应力和表面粗糙度等。只有解决好这些问题,才能得到更为普遍的应用。本文重点讨论了严重影响性能的纳米接触问题,详细地分析了纳米接构设计提供了理论依据。主要工作分为三部分:.分析了影响性能的粘讨论了各种理论存在的问题。.对几种简单但比较典型的接触模型,运用连续方法产生的误差的变化规律。.以微悬梁与基底的接触为例,分析了粗糙表面统方法建模得到的粘附力只有在两表面间隙很小的时才与实际符合,距离增大,关键词:纳米接触连续介质方法
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导师签名:生壁笪缒本人签名:羹盘缢毖本人签名:亟《,在一年解密后适用本授权书。西安电子科技大学学位论文创新性声明关于论文使用授权的说明导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果;也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说申请学位论文与资料若有不实之处,本人承担一切的法律责任。本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定,即:研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件,允许查阅和借阅论文;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证,毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。秉承学校严谨的学风和优良的科学道德,本人声明所呈交的论文是我个人在明并表示了谢意。C艿穆畚脑诮饷芎笞袷卮斯娑日期
第一章绪论规律、相互作用和在其中运用的技术问趔”。可分为:纳米材料体系物理学,、改造自然、重新安排自然界,通过直接操作和安排原子分子以创造新物质,研究纳米尺度的物质和体系的运动然还有其他的一些划分法。归根结底纳米科技是一门多学科的交叉学科。纳米科技蕴涵巨大的发展潜力和广阔的市场前景,对国家军事领域的发展也极其重要。纳米科技是科学技术在微观领域的发展和应用。纳米科技在推动产品到世界各发达国家的广泛重视,被认为是一项世纪的标志性技术。各发达国家纷纷投入巨资积极发展本国的纳米科技。美国在年正式把纳米技术列入国家关键技术,主要以政府主导,,至年政府投资已经达诘脑に恪最近的曛校擅卓萍嫉幕ǚ鸭负醮镏年估计值诿涝5倍。这一增加纳米研究整体水平居于世界领先【冢绕湓谀擅缀铣伞⒒泛湍擅咨锛际醴展技术作为国家科技发展的重中之重。至年,经费达到诿涝#毡酒笠的投入是政府投资的倍,日本在纳米器件、纳米结构材料方面,居于世界领研究计划。德国在微器件研究及商业化方面居于世界领先【。化学,纳米电子学,纳米机械学,纳米生物学,纳米材料学,纳米测量学等,当高性能、微型化、环境友好、节约能源、资源,促进生态环境改善方面将起到重要作用,必将引导一次深刻的产业革命。自世纪年代中期发展至今一直受反映了管理部门相信纳米科技的潜在能量,相信纳米科技对美国经济、国家安全等的增强作用。得益于政府连续强有力的支持如钅康饶擅卓萍佳芯浚拦面。日本从年启动纳米计划,至年又在二个”科学技术基本计划”将纳米发先地位。欧共体各国不但有共同的纳米发展计划,英国、德国、法国等还拥有自己的
作为与纳米科技息息相关的技术——技术,起步于年。多年来,研究进展为了发展纳米科技,指导未来昴擅卓萍嫉难芯坑肟7⒐ぷ鳎萍疾俊国家计委、教育部