文档介绍：-96化學沉銅工藝生産綫線開工規則10-127化學沉銅工藝生産綫線停工規則138化學沉銅工藝生產線之停電或機械故障處理方法149化學沉銅工藝生產線之保養事項及程序15-1610化學沉銅工藝生產線***品用量準備1711品質檢定方法及標準18-2012問題分析程序及原因21-231)化學沉銅工藝流程簡介膨鬆MLSweller除膠KMnO4預中和(硫酸、雙氧水)中和MLB216-5清潔3325微蝕NaPS預浸C/P404ê活化CAT44ê速化19Eê化學沉銅C/P8802)-----5--. 清潔劑3325--. 微蝕NaPS--蝕刻孔壁內層及板面的銅層,. 預浸劑CP404----是一種膠體狀的錫化鈀,它可以使沒有導電性能的表面,--)控制條件工序控制項目控制範圍標准及分析頻率温度(℃)時間(min)打氣過濾膨鬆劑MLSwellerMLSweller200-250ml/l225ml/l(2次/天)70-75-806-8不要要除膠劑高錳酸鉀40–80g/l60g/l(2次/天)70-75-859-12要要錳酸鉀<20g/l<20g/l(2次/天)–(2次/天)比重<<-(硫酸/雙氧水)硫酸(98%)雙氧水(35%)-%(V/V)-%(V/V)2%2%25-28-302-4不要要中和劑MLB216-5中和劑MLB216-5硫酸(98%)Cu4-6%(V/V)-%(V/V)<20g/l5%(2次/天)2%(2次/天)>20g/l換缸(1次/天)20-22-256不要要清潔劑3325強度銅含量PH值80-120%<-%(1次/班)<(1次/班)(1次/班)55-60-655-6不要要微蝕NaPS過硫酸鈉40–80g/l60g/l(1次/班)55g/l(1次/班)>20g/l換缸(1次/班)35micro-inch(1次/班)25-28--55-75g/lCu蝕銅厚度<20g/l20-50micro---<(1次/班)<(1次/周)28-30-321-2不要要活化劑44強度60–75-90ppm75ppm(1次/班)40-43-465-6不要要***化亞錫3–8g/l6g/l(1次/班)--(1次/班)銅含量<2g/l(1次/班)-–-/l(1次/6h)30-36℃設定值厚板:32℃薄板:34℃14-18要要氫氧化鈉10–11-12g/l11g/l(1次/6h)–-/l(1次/6h)EDTA24–40g/l32g/l(1次/6h)沉銅厚度10-20micro-inch15micro-inch(1次/班)4)化學品補充槽名成份補充物料補充量的計算方法單位膨鬆濃度Sweller(240—分析值)×槽積/1000公升高錳酸鉀Mn+7KMnO4(60—分析值)×槽積/1000公斤Mn+6大於20g/L時,須稀釋槽液NaOHNaOH(40—分析值)×槽積/1000公斤中和濃度216-5(5—分析值)×槽積/100公升N98%硫酸(—分析值)×槽積/36公升清潔整孔濃度3325(30—分析值)×槽積/1000公升微蝕H2SO4濃度50%H2SO4(3—分析值)×槽積*(90—分析值)×槽積/1000公斤預浸比重404(—分析值)×槽積×(—分析值)×槽積×(13—分析值)×槽積/1000公升化學銅Cu880A(—分析值)×槽積/200公升NaOHCupositZ(10—分析值)×槽積/34