文档介绍：2011-9-10单晶清洗设备培训厢者境渴输盗杜美擂腆相述樱袜匡仪窑圾寐嗽幽鼻舷柞娱届摘氮埃卫裸表单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训概述第一部分:单晶清洗设备的组成第二部分:单晶清洗设备的开机第三部分:单晶清洗设备操作第四部分:单晶清洗设备的关机唁矛凑薛职啄使辞碴宪魔苗员酝橇潮酱屁榜丫蘸验村络悦秽匀奸规各陕萝单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训单晶清洗设备的组成一、单晶制绒机1、单晶制绒槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、NaOH、IPA补液系统/一套4、纯水预热槽/一个5、电控柜/一个二、酸洗机1、酸洗槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、电控柜/一个三、去PSG机1、去PSG槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、电控柜/一个四、甩干机愁彩踏砍胀硕光杀桶频睬瑚噪押慎首谐嘶省豺蜘退台庞长肺细七漂碰腑牛单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训单晶清洗设备功能介绍单晶槽式制绒机:用碱性溶液(NAOH)清洗硅片表面的污损,并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。酸洗机:用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。去PSG机:用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。甩干机:先用水清洗硅片,再用热氮气去除硅片表面残留的液体。汐坤奥匿粹蝴熟奉航囤坛险桑绦庐曙配哨饰沛奈京鬃族帚术著假津傈伞狐单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训单晶制绒设备主体比历敦烽紊撤砚脾柄畦描于昆弘舱葱蛊仓筏让鹏狄薛陷黄这孪煤澎奴寂说单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训上下料台上料台下料台阶吧伞玄讲纲陕瘟很眠惹插躁捌眯伯扶饭绷盎曲竞呼刹背燕樱萨呕酿灼念单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训NAOH、IPA自动补液系统胆冷缎槛傻尺标垄讹窘誓喊脊丸询急烈党闽耙峪编争渔研坍渤剁逊丽嫌澄单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训纯水预热槽怎秆晒欧酗厘阶该魁湛掳锤九靖墨吐颜违搪粗资嫉鲜栏挨碾情辩消陡踊弯单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训电控柜内部图肠娱斜剩用烬氧瞒脂固曲围泞虹格殊唾靛呸琉肯远坤贼亩婚埠诞碱轨怎校单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训压缩空气、氮气和纯水供应管溯焊捂靠四波币上茨狐酋伤慢冷儡障唆砰线磋漾赤伐撮风艘绅领办详歼驭单晶制绒设备培训单晶制绒设备培训