文档介绍：摘要砺凼且恢钟判愕纳刂评砺郏蒲У亟读虾蜕刂平岷显难以确定,缓冲保护策略难以实现,合适的瓶颈调度方法也难以找到。继而提作看成工“层”,该层中负荷最大的设备为“层”瓶颈。在系统瓶颈资源关键词:一起,在许多行业有着成功的应用。但如何将该理论应用于存在严重重入流的制造环境一直是一个难题。本文主要探索在半导体生产制造复杂环境下该理论的应用。首先,介绍了砺鄣幕驹恚岷习氲继迳叩奶氐悖治隽恕霸始”砺墼诎氲继逯圃旎肪诚掠τ玫睦眩合低称烤蹦岩允侗穑谧出了本文要研究和解决的重点:系统瓶颈识别和瓶颈资源调度。其次,在分析了半导体生产线和产品加工流程特点的基础上,针对设备中存在并行机,批加工设备和重入流问题,提出了通过将工序奔淦骄鬯到加工中心来识别系统瓶颈,解决了瓶颈识别问题。通过将工件加工流程展开分析,提出了“层”瓶颈的概念,即将相连两次瓶颈操作之间所有的非瓶颈操选择工件时,根据不同“层”工件的加工节奏,选择“层”加工节奏最接近于该层“层”瓶颈节奏的工件进行加工,从而平衡了生产线,减少了工件在非瓶颈设各处的拥堵,缩短了工件的加工周期,解决了瓶颈设备的调度问题。再次,。该系统的实现方便了砺劭行性的验证。最后,对本文提出的一系列观点和理论进行了仿真验证。以半导体模型为生产线模型,选取该模型的产品和某半导体公司的真实产品作为仿真生产线产品,。通过与其他生产调度方法的对比,证明该方法有效缩短了产品的加工周期,提高了系统的产能。半导体制造,砺郏烤笔侗穑安恪逼烤保烤钡鞫
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学位敝储虢加咯年弓月日学位论文版权使用授权书本人完全了解同济大学关于收集、保存、使用学位论文的规定,同意如下各项内容:按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子版本;学校有权保存学位论文的印刷本和电子版,并采用影印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文;学校有权提供目录检索以及提供本学位论文全文或者部分的阅览服务;学校有权按有关规定向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版;在不以赢利为目的的前提下,学校可以适当复制论文的部分或全部内容用于学术活动。经指导教师同意,本学位论文属于保密,在年解密后适用本授权书。指导教师签名:学位论文作者签名:年月日\
啡;月争日签名:’心也同济大学学位论文原创性声明—,本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下,进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、己公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均己在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。、
第滦髀概述了举足轻重的影响。电脑,手机,数码产品早已不再是奢侈品,而是随处可见个部分:半导体设计业,半导体制造业,半导体封装与半导体测试业【¨。其中,半导体制造业是整个半导体产业的基础,也是半导体产业投资最大的部分。中国凭借优廉的劳动力和巨大的市场得到了全球投资者的青睐,越来越多的半导随着人们生活水平不断提高,市场环境也发生了巨大变化,消费者需求同市场不断要求以更低的成本获得更好的性能。而良好的控制和调度是提高产品应用研究还停留在启发式规则与离散事件仿真相结合的层面上。多数智能优化砺凼羌蘉与蠓⒄蛊鹄吹囊恢中碌乃枷耄孟低称颈的节奏来控制投料和生产,在提高产量减少在制品库存上优于蚃,在许多行业的应用证明是用一种简单有效的控制生产的方法。本课题以半导体制造过程为对象,研究砺墼谏懦躺系挠τ茫砺郏饩霭氲继逯圃焐吒丛拥牡鞫任侍猓岣甙氲继逯圃焐线的产量,减少在制品,提高准时交货率。科技迅速发展,社会已步入信息时代,信息技术对人类的工作和生活产生的日常必需品。半导体产业作为信息产业的核心,在最近几十年得到了蓬勃发展,成为国民经济的重要支柱,具有重要的战略意义。半导体产业主要包括体厂家在中国投资建厂,半导体制造企业之间的竞争也同益加剧。趋主体化、个性化和多样化,产品的生命周期与交货期不断缩短,半导体制造质量、获得巨大经济的关键。半导体制造生产线的结构复杂,设备多且加工特性各异,具有严重的可重入性,这些特点给半导体制造过程的调度带来了极大的困难【。半导体制造过程的调度研究是调度领域的研究热点和难点之一。目前,半导体制造过程调度的算法还处在理论研究阶段,由于半导体生产线的在制品品种和数量较多,以及生产线的高度不确定,智能算法生成的调度方案难以实施。绪论
聃闲劂鮥苁硐甯1—乡髑耍珊月■■半导体制造过程与特点茬障戈呓ü柚┲戌薄!⒋岩蚋.氲继逯圃旃谈拍光剩、捌蚀及掺杂过电擘和环境测试●%选硅片上的每个胃薯圈劳‘半导体产品主要指计