文档介绍：摘要退火晶化,首次发现了晶化区位于薄膜的中间部分。俐用此方法,成功制备出了纳米微晶硅材料,以及位于薄膜内部的晶化线。状卫蒙疃绕饰龉馄⒗美馄锥阅擅孜⒕Ч璞∧さ挠αΨ植冀辛松韫馄壮上裱芯俊得出的光谱分辨能力极限。并成功将此小型成像光谱仪应用在伪装侦察中。了表征缺陷和吸附的过渡峰峰位及峰宽随应力变化敏感度大大高于非晶峰自主设计和组装了小型成像光谱仪。枷裰毓辜际醯挠τ么蟠筇岣吡艘瞧鞯向分辨率没有直接贡献,指出了提高横向分辨能力的方法。姒理论上首次分分辨能力,并给出了薄样品时的简化模型本学位论文工作旨在空间分辨光谱仪器的性能研究及其在凝聚态物理研究⒋永砺凵戏治隽斯步瓜晕⒗馄滓瞧鞯暮嵯蚍直婺芰Γ隽擞跋煲瞧骱向分辨能力的要素是显微物镜的数值孔径和填充因子,澄清了共焦针孔对横析了在样品导致光路像差、同时又具有吸收时共焦显微拉曼光谱仪器的纵向首次利用多波长光谱图像处理技术以及反射光谱直接成像方法研究聚合物半导体骷梢愿用飨缘亟沂静牧铣煞莺徒峁股系娜毕荨⒗霉步估馄滓墙岷仙疃绕饰龉馄追椒ǎ晗秆芯苛朔蔷Ч璞∧さ募す吸收光谱结合在一起,对晶体材料内稀土离子的跃迁能级进行了指认。中的应用。本学位论文的主要贡献葱碌如下:方法发现:宀牧侠馄字械淖晕障窒螅⒔渫ü夤馄住⑹状翁岢隽私枷裰毓辜际跤τ糜谙咝慰杀渎斯馄止獾某上窆馄滓侵校空间分辨能力和光谱分辨能力,使得仪器的光谱分辨率接近可变干涉滤光片关键词:空间分辨光谱;共焦拉曼显微镜:成像光谱仪擅孜⒕Ч瑁痪酆衔半导体
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第一章引言§空间分辨光谱的历史发展领域。长期以来,它们沿着各自的道路发展,虽然它们都是接收来自目标的光辐射,但光学成像器获取目标的影像光强信息,追求高空间分辨率;而光谱仪则把目标的光辐射分离成不同波长的光谱,追求高光谱分辨率。光谱成像分析系统将光谱技术与成像技术有机地融为一体,可在光谱和空间两个方面对目标进行分析和识别。普通的光学成像积分涵盖了其接收器泄饨浩光电阵列等恼龉馄紫煊Γ馄壮上直接成像法梢砸淮谓黾锹家桓稣的波长范围的影像信息。普通的光谱分析积分涵盖了光谱仪的整个视场角内所光谱成像是一门交叉学科,它涉及到化学、物理学和工程。它被用于监测光谱成像分析系统的近代历史发展,由于军事侦察、资源勘探和气象预报等部进行近距离工作。工作波段从可见到红外,逐渐由多光谱成像光学成像技术和光谱技术是光电技术中的两个历史悠久并应用广泛的重要有像元的光谱,而光谱成像浣映上穹可以逐点进行光谱分析。由此可见,光谱成像方法的核心是空间信息和光谱信息的集成。材料的化学成份,它是观查从人脑的新陈代谢到星球的形成等广阔领域的窗口。对一个给定的系统,光谱成像不仅揭示其形貌、物性和化学成份的大致趋势,还可以给出它们的精细细节。最早的光谱成像可以追溯到年和独立发明了一种光谱摄影仪,可在小光谱波长间隔内给太阳摄影。门的需要,首先应用在宏观尺度上,视场从大于平方公里到几平方米,分析系统装在飞机蛭佬上以遥感方式进行工作,或车载痔以现场方式向超光谱成像辨率在这里部分地是按波长元数ǖ数来定义的。新近又出现了超高光谱成像义。一般来说,多光谱成像系统应用滤光片分成若干不重叠的通带,。但是随着每个通带的变窄,多光谱成像则能给出更具体明确的信息,因为一个更窄的给定波长间隔发展。光谱分蚬馄状的说法,是指具有更高的数据密度。但是这些术语之间的区分并没有十分明确的定埃琀
年等人㈤发展了一种拉曼光谱成像仪,应用一组干涉滤光可以与该目标内的个别化学成份相联系。若通带宽度小于蚩沙莆3谱成像了。但超光谱成像与多光谱成像有本质的不同,其仪器的设计是基于具K孀趴蒲Ъ际醯姆⒄梗馄壮上裨谙晕⒊叨⒚琢考上得到应用¨“,首先得到发展的是荧光显微成像系统,其次是拉曼和红外显微成像系统。近几年来,近场光学和近场光谱学的发展,使光谱成像走进了介观擅琢考尺度,而采用扫描电子束的荧光光谱则可达到更高半个世纪之前,人们已在可见和红外光谱区将分光光度计和显微镜连接起来,组成显微光谱测试系统,而具有现代意义的显微光谱成像分析系统,即应用二维阵列光电探测器与光谱分光系统耦合起来,则是近二十多年的事。计,显微镜物镜的像平面耦合到凹面光栅的表面,显微镜物镜的出瞳投射到分光计的入射狭缝处。这种光学共轭系统保证了显微镜的空间分辨率,高质量的像通过分光计落到阵列接收器上,但光谱分辩率受到很大限制。因为分光计的狭缝宽度至少等于物镜的出瞳投射到狭缝处像的大小。片作为光谱滤波手段,通过计算机进行滤光片选择和角度调谐,光谱分辨率达种装置可直接用于近红外光谱成像部山岷先滤波器..糜有更高光谱分辨率的干涉仪或光栅和棱镜的色散元件埃谑笛槭腋菀准这种