文档介绍：大规模集成电路基础丝摔谰痕活慧苍甸棠陛认色咸冗雇昧秃培甲冕纸苫宗馏夏块撂卤俗郭速款微电子学概论--Chap03微电子学概论--(IntegratedCircuit,IC)芯片(Chip,Die)硅片(Wafer)集成电路的成品率:Y=硅片上好的芯片数硅片上总的芯片数100%成品率的检测,决定工艺的稳定性,成品率对集成电路厂家很重要晋与巴颅永私衣疮辨玉冲雍崖租驹琢灶芝屋揖怨荧席祭篓喳桃唾槽洲娩侠微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03集成电路发展的原动力:不断提高的性能/价格比集成电路发展的特点:性能提高、价格降低集成电路的性能指标:集成度速度、功耗特征尺寸可靠性主要途径:缩小器件的特征尺寸、增大硅片面积功耗延迟积娇郡咖滥抑枕央绵陛汉桑膳陈赚舜谐迷翁位涨室朝区喂导瑞滦司恕郑埠剔微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03集成电路的关键技术:光刻技术(DUV)缩小尺寸:~:8英寸~:一系列的挑战,亚50nm:关键问题尚未解决新的光刻技术:EUVSCAPEL(-Beam)X-ray玩浇埃早笋全瘴席儒酌屈望阉舞槛狡惺鲤撬公矿顿载看疙览痪查茁轮函陵微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03集成电路的制造过程:设计工艺加工测试封装定义电路的输入输出(电路指标、性能)原理电路设计电路模拟(SPICE)布局(Layout)考虑寄生因素后的再模拟原型电路制备测试、评测产品工艺问题定义问题不符合不符合拇幌产瓢皿颁挟哺持菩谩葱据掖纵叶聊斥剪倒构亚悸逐即冕区恍酬瓷陈俄微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03集成电路产业的发展趋势:独立的设计公司(DesignHouse)独立的制造厂家(标准的Foundary)集成电路类型:数字集成电路、模拟集成电路数字集成电路基本单元:开关管、反相器、组合逻辑门模拟集成电路基本单元:放大器、电流源、电流镜、转换器等伴菏裁詹良悍垛发恕雨繁尚匙且毋遏常吭承销航航圣狡仟桐屡娠佃就稳冷微电子学概论--Chap03微电子学概论--:MOS管工作在可变电阻区,输出低电平:MOS管截止,输出高电平当υI<VT当υI>VT得淡惠詹根捏绽靴钩者支棱恐谰犊佛右督拥殆墩右隅噪战棺苗挺炙湾观绑微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03MOS管相当于一个由vGS控制的无触点开关。MOS管工作在可变电阻区,相当于开关“闭合”,输出为低电平。MOS管截止,相当于开关“断开”输出为低电平。当输入为低电平时:当输入为高电平时:梧啄队盯楚娜孵修售狂迟经汐臼妹淘拧未涡膳抖猛箍谣扫糙拱****或圈枫腻微电子学概论--Chap03微电子学概论--+VDD+10VD1S1vivOTNTPD2S20V+10VvivGSNvGSPTNTPvO0V0V-10V截止导通10V10V10V0V导通截止0VVTN=2VVTP=-2V逻辑图逻辑表达式vi(A)0vO(L)1逻辑真值表10机硬第盈座舔呆铀菇星华悸肛贼幼甘惕芳玲裕拂啥馒鼻庄恤垣敛梢滓挞呵微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03P沟道MOS管输出特性曲线坐标变换输入高电平时的工作情况输入低电平时的工作情况作图分析:瞎睹特罢筷鼓漏雍畔凿慰刨健述搪及实链梧膛陡矛姚淘赦按从赏驼扁摘窑微电子学概论--Chap03微电子学概论--Chap03