7★2010+GT+08级++IC原理+第5章+MOS反相器1.ppt

文档介绍：第5章 MOS反相器
本章在“《半导体集成电路》朱正涌编著,张开华主审, 清华大学出版杜 2001年,高等学校工科电子类规划教材”中,排序为第7章
复习与补充
铝栅、硅栅器件
铝栅工艺MOSFET的结构Structure
Gate
Source
Drain
W
L
铝栅工艺MOSFET的结构
N阱硅栅CMOS IC的剖面图
典型P阱CMOS工艺的剖面图
源
硅栅
漏
薄氧化层
金属
场氧化层
p-阱
n-衬底
(FOX)
低氧
刻有源区
刻硅栅
刻接触孔
刻铝
场SiO2
栅SiO2
栅SiO2
S/D
G
D/S
N 沟道硅栅 MOSFET 剖面图
P
N+
N+
硅栅