文档介绍：例:将剂量为1´107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。分析过程:1、在Origin中处理数据  图1将实验数据用记事本打开,其中C1s表示的是C1s电子,,-,81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。,并按照步长及个数生成结合能数据,见图2图2将生成的数据导入Origin软件中,见图3。图3此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C1s谱图,检查谱图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin软件中的Data-MoveDataPoints,然后按键盘上的¯或箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将columnA和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。图42、打开XPSPeak,引入数据:点Data--Import (ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图,见图5、图63、选择本底:点Background,因软件问题,HighBE和LowBE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley类型,见图7。图74、加峰:点Addpeak,出现小框,在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。点Deletepeak可去掉此峰。然后再点Addpeak选第二个峰,如此重复。在选择初始峰位时,如果有前人做过相似的实验,可以查到相应价键对应的峰位最好。但是如果这种实验方法比较新,前人没有做过相似的,就先用标准的峰位为初始值。最优化所有的峰位,然后看峰位位置的变化。本例中加了三个峰,C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三个价键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位,然后添加。具体过程见图8、9、10。图8图9图105、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimiseregion进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可以多次点Optimiseregion。最终拟合结果见图11。图116、参数查看。拟合完成后,分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意,可改变这些峰的参数,然后再点Optimise。7、点击SaveXPS存图,下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。8、数据输出。点击Data――Printwithpeakparameters,可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。点击Data――Exporttoclipboard,则将图和数据都复制到了剪贴板上,打开文档(如Word文档),点粘贴,就把图和数据粘贴过去了。点击Data――Export(spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin中从多列数据栏打开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。XPS能谱数据处理王博吕晋军齐尚奎能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理:1、将ASC码文件用NOTEPAD打开:元素名称X轴起始点采集的数据点总数X轴步长Y轴数值2、复制Y轴数值。打开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y):3、如图:点击工具栏plot,选择line4、出现下图:点击B(Y),再点击<->Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在“setXvalues”中输入起始值和步长。5、点击OK,得到下图: