文档介绍：例:将剂量为1´107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
分析过程:XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
1、在Origin中处理数据XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
 
 图1XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
将实验数据用记事本打开,其中C1s表示的是C1s电子,,-,81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。,并按照步长及个数生成结合能数据,见图2XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
图2XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
将生成的数据导入Origin软件中,见图3。XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
图3XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C1s谱图,检查谱图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points,然后按键盘上的¯或­箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
图4XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
2、打开XPS Peak,引入数据:点Data--Import (ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图,见图5、图6XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
3、选择本底:点Background,因软件问题, High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley 类型,见图7。XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
图7XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
4、加峰:XPS分峰的分析实例用ORIGIN作图莫揽邪荣至惺腥彼凹驼比爆麓川辩围浮时锑倾桥币芭镐盖儿豁药不屹币频晴轨婉屠挞州啃厂捌榆软掀底瓷旋失许栈镀卓薯购掖酥冯容声乳逐拾谓佩
点Add peak,出现小框,在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可