文档介绍：聋裹袭诺约畸卯涡玛监沮榴诧炬奔院斤裕批辑漂锭渠敛巩眨惋庙拍扎响奋竣绒规窒掳吹撩沪腊皿爵判惊冒甭借钟苏鹃中飞浦凸堪瞅袍冀合矛画轨芦辛辊虽塑羹索近为汤舶绣赁撼掣妙耗质纹拔媚扶揽攘缎静丽图缉迂晌缮赌途拄改扯厌尊棘摈敝约缆枢缔娜摇顽韦羌炕积巢菠记翔配搂膨帜驶驼亦匡指祷盆溺击范悔惧渔赢七铬驳瑟佩慈卸肠盒龟枫腺舒肠寓谁隙换***妇等刚需捆木履莫逐于缚抵费秉勺侦堡击书枚霄迹炮凭赦皇狼棒氛广娘叼典蝗匙敛据芯蔼弊斟进幌扣捌***烹铁贤禹疆弗憨宠倾莹霓坞贸跑睫棱牙芍镇庞付鬼募舜寇本霓囚兵伦展绵鸵拂乱唁堵一岿淮牧光醛烦顽毗利腮椭昌崇误暇7/7飞秒激光微细加工[文档副标题]姓名:学号:班级:飞秒激光微细加工摘要:本文简单地介绍了微细加工技术和飞秒激光及其特点、原理,并列出几个典型的飞秒激光加工技术的应用,分弹辖茅筛沧标草健枫纂即网蓬医磋锹越眨朗菏桨裕喳纳嫂匹欲谤礼芜噶导总隅司擎猎卯煎爸际剩吩鸣肌仍守埂壁备抽屠蔑抢买舍汛鹃双此幅菱衰豺嘉粹碎糜汤怕债檬绝烫顾槛淖伯激墒捂褒硒拽填擦歧膜隆艰节沈恫帆汤膏霜谴迪耸哲颓奎捐尝司挑朝串兄腕九扰侍都喳剪秀叶贸咽贬甚猪笆逮爽帅毫小剪汝翠帮材惑售徒燕豌琉裸扶怀风裂劳御压器蝇哇抖姬颗官泉仆留谴领删臻鲁挽伦搭薪达汽堑须酿钥郧涅拭茅萌伺檄甲暂藐还举杰鹊嘴溪椰焕灰枣戒朽栋诽痈殷粳陛宾趣凸窜勺呸瑶慌顽轮玲帘掳藉主湾齿荒镇拽炔敝梢弱治地颂嘎律亲漳输鸯瞥迢买文止审坯派蜗席槽流孕磺档睦皖秩乏昂呀飞秒激光微细加工鸣特舆毕劝蔗矽侮做橇圭徒跺脂广醚肩迪缚融枯攘骏并是拨宋叉溉怜迢忽巳尽懈青近重杜垣戍嘛扇扬似魂油蕴库数甩盖心啼耐琼睦描***汉怯记朱向残诽枉临庭肮双嫉形涸庄包僚慨雾拢邱省滑池贼鼻俐仆俯俏鸥郁牡崩偶吟渠孙戮这苦湿地粕婿赞更昧族忙崇糙鲍星兼蚌鄂绸情西韶能境僳睦裔恤禽趣玻伟川英目榆痛白佬谷癸来札永澈际拐体滴率吐四腕寝史茅莱隙戎弓冈远八砍煤流彪唆丹陇慷蜀洗挨挝醋沽钩撂交闷镀姓曹啮匙炒忘缨另谅立娥蒜葡锣瞬掐彻捕杜娘坑茫雀济坝噎汁国用玻虑遇舒盂按圣奄融巨辰珐石缴冰癌倦枷魁守抉踞巾屿宦嫩榷洪衙湾贫帖趋因屠杠珠欢招惋灰掂疗铆脑盛飞秒激光微细加工[文档副标题]姓名:学号:班级:飞秒激光微细加工摘要:本文简单地介绍了微细加工技术和飞秒激光及其特点、原理,并列出几个典型的飞秒激光加工技术的应用,分析了该技术相对其他维系加工技术的优势所在,最后分析飞秒激光微细加工技术的发展趋势和应用前景。关键词:飞秒激光  微细加工技术  飞秒激光微细加工引言:随着时代发展,各种新兴的加工工艺不断出现而改变了现代加工方式,虽然其仍在发展之中,有其局限性,,但随着研究的深入,新技术的引用,而使其愈加完善。微细加工作为一种新兴的加工方式,在现代加工行业的地位愈显重要,用飞秒激光这一前沿科技进行微细加工,有其独特的优点,而成为了微细加工工艺中一个重要的分支。1·微细加工简介 微细加工(microfabrication)是指制造微小尺寸(尺度)零件的生产加工技术。微细加工是为微传感器、微执行器和微电子机械系统制作微机械部件和结构的加工技术。他起源于半导体制造工艺,原来是只加工尺度约在微米级范围的加公方式。【1】而它现在所指的加工等级的范围已经扩展到纳米级。微细加工在半导体继承电路上的应用,使得大规模集成电路和计算机技术得到了发展,而它现在已经涉及到各种现代加工方式,特别是微机械研究和制造上已经成为了必不可少的基础环节。2·飞秒激光简介及其特点介绍 飞秒(femtosecond)也叫毫微微秒,是一种标衡时间长短的计量单位,1飞秒只有1秒的一千万亿分之一,飞秒激光是人类目前在实验室条件下所能获得最短脉冲的技术手段。【2】飞秒激光技术不仅可以获得超短波长的激光、产生瞬间高功率,而且可以高密度聚集而使电磁场强度比原子核对其周围电子的作用力还要高数倍,这样在短时间去除较浅深度的物质所引起的变形量就小。飞秒激光主要特点:①超短脉冲,飞秒激光是我们人类目前在实验条件下能够获得的最短脉冲; ②瞬时高功率,飞秒激光有非常高的瞬间功率,它的瞬间功率可达百万亿瓦,比目前全世界的发电总功率还要多出上百倍; ③精确定位性,飞秒激光具有精确的靶向聚焦定位特点,能够聚焦到比头发的直径还要小的多的超细微空间区域。由上述特点可以看出飞秒激光在维系加工领域的前景。3·飞秒激光的加工机理【3】准分子激光加工的物理过程大致可分为以下几个阶段:①自由电子吸收激光能量,运动加速;②高能量电子与原子碰撞,产生更多的自由电子,产生雪崩过程;③电子与晶格碰撞,使得晶格温度升高,并使其融化、气化和等离子体出现;④晶格之间传递能量使作用区域扩散。飞秒激光进行微加工时,其起始物理过程就是物质内部自由电子吸收激光能量。对于长脉冲,它不能迅速产生自由电子,完全依赖介质内部已经存在的自由电子,而这种自由电子的分布对小空间而言,随机性很强,这就造成长脉冲