文档介绍：纳米复合薄膜的制备及其应用研究
韩高荣汪建勋杜丕一张溪文赵高凌
【摘要】纳米复合薄膜材料由于具有传统复合材料和现代纳米材料两者的优点,正成为纳米材料的重要分支而越来越引起广泛的重视和深入的研究。本文全面介绍了纳米复合薄膜的发展历史、制备方法、薄膜性能及其应用前景。提出了纳米复合薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向。
【关键词】纳米复合;薄膜制备;薄膜应用
中图分类号:TQ174; 文献标识码:A
Preparation and Application of posite Thin Films
HAN Gao-rong1, WANG Jian-xun2, DU Pi-yi1,
ZHANG Xi-wen1, ZHAO Gao-ling1
( key silicon Mater Sci. and
Eng., Zhejiang Univ., hangzhou 310027, China;
Glass industry and design, Qinhuangdao 066001, China)
【Abstract】 Recently, posite film materials hav e been extensively studied because it has both advantages posite ma terial, and modern nano materials. In the paper, the history, preparation method s, properties and applications of posite film materials have been summa rized. The key research problems and the future works in the field of p osite films have also been presented.
【Key words】 posite; thin film preparation; t hin film application
1 引言
纳米复合薄膜是指由特征维度尺寸为纳米数量级(1~100nm)的组元镶嵌于不同的基体里所形成的复合薄膜材料,有时也把不同组元构成的多层膜如超晶格也称为纳米复合薄膜。由于它具有传统复合材料和现代纳米材料两者的优越性,一经在纳米材料科学领域崭露头角,就引起了科研工作者的广泛关注,并得到日趋深入的研究而成为一重要的前沿研究领域。在这方面, 美、日、德及西欧各国一直走在世界前列。人们采用各种物理和化学方法先后制备了一系列金属/绝缘体、半导体/绝缘体、金属/半导体、金属/高分子、半导体/高分子等纳米复合薄膜[1-4]。其中半导体纳米复合薄膜,尤其是硅系纳米镶嵌复合薄膜,由于纳米粒子的引入,基于量子尺寸效应产生光学能隙宽化,可见光光致发光,共振隧道效应,非线性光学等独特的光电性能,加之与集成电路相兼容的制备技术,使这一硅系纳米复合薄膜在光电器件、太阳能电池、传感器、新型建材等领域有广泛的应用前景,因而日益成为关注焦点。
尽管近年来有关纳米复