文档介绍：摘要应用范围包括开关电源、电子镇流器、电机驱动、汽车电子和显示驱动,本课题再者,根据陈星弼教授的两个美国专利畇.,皍.,电路的工艺流程⒗肨泄ひ漳D猓っ髁舜斯ひ盏目尚将要引起第二次电予革命的智能功率集成电路获得了日益广泛的应用,它的设计的智能功率集成电路是特别用于电子镇流器的。本文首先简述了智能功率集成电路的研究和发展,从中可以得出本设计的的:功率集成电路中应将功率器件与低压逻辑控制电路集成在一个芯片上,以及实现其目的的重要性和必要性。然后,回顾了半导体制造工艺的发展历程及三个代表工艺的主要特点及工艺流程。并参考所的硅栅工艺流程,设计出了用于制造本智能功率集成性。结合工具及,提取了适用于器件模拟的工艺参数。最后,利用嘀屏吮竟ひ盏陌嫱忌杓乒嬖颍―、、关键词:智能功率集成电路工艺,瑅
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导师签名:——独创性声明关于论文使用授权的说明方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或C艿难宦畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地确的说明并表示谢意。年本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文扫描等复制手段保存、汇编学位论文。签名:日期:月日
第一章序论电力电子技术简介简介力电子器件现已由以晶闸管为代表的第一代半控型器件发展到以功率晶体管二代全控型器件,并向着以功率集成电路为代表的第三代智能化器件迈进。全控管⒌ゼ含功率场效应晶体管、静电感应式晶体管⒏春闲含绝缘门双率器件和驱动电路、控制电路以及保护电路、诊断电路的集成。它使器件与电路功率半导体器件对电网功率、电流、电压、频率、相位进行精确控制和处理,使得电力电子装置小型化、高频化、智能化,效率和性能得以大幅度提高。据有关资料显示:目前,欧美等发达国家%以上电能经过电力电子装置处理后使用,节约电能约%。同时,电力电子技术已经从民用扩展到航空航天及军事领域,成为国民经济的重要科技产业和改造传统产业的新兴技术。传统的电力半导体器件主要有整流二极管、晶闸管及其派生器件、功率晶体,孀盼⒌缱蛹际醯慕蕉杆俜⒄蛊鹄储】【。它们融功率半导体、信息电子学、超大规模集成电路、电机学和计算机辅助设计为一体,成为未来工业自动化、汽车制造业、航空航天技术和其它高新技术工业的基础产。特别是在目前微电子走向系统集成的情况下起着越来越重电力电子学是介于电气工程三大主要领域即电力、电子、控制之间的边缘学科。其涉及的内容包括系统与控制、电力电子器件和电力电子电路三个部分。电⒖晒囟暇д⒐、⒐堋⒕驳绺杏κ骄д极晶体管、刂凭骞和功率集成电路四种类型。功率集成电路是指功集成,强电与弱电相结合,动力与信息统一,是机电一体化的基础元件。它利用管及其派生器件等。八十年代,新型功率骷鸵云湮;〉闹悄芄β始要的作用。功率集成电路是功率半导体技术与微电子技术相结合的产物。年美国研成电路
、平板显示驱动⒖9氐缭功率集成电路大概分为两类,一类是智能功率集成电路压电子器件与起控制作用的传统逻辑电路或模拟电路的集成。功率集成电路将功率器件与低压逻辑控制电路集成在~个芯片上,这样集成与分立器件相比的好处是显著地提高了电路的性能而降低了成本。同时,功率集成电路可以实现低压电路的过温、过流、过压、欠压保护,即提高了电路的可靠以明显降低在频率较高时控制电路与功率器件的连接所产生的引线电感和杂散、耦合电容对电路设计难度和正常工作的影响”U庖幌盗械挠攀剖沟霉β始傻然而,直接将高压器件与低压电路集成在一起,并不是一个简单的加法,这是因为在低压的模拟和数字电路在概念上基本不会考虑器件的击穿的问题。但是,一旦将高低压电路做在一起,高压的功率器件的高压会直接导致低压电路的击穿,从而造成低压电路的损坏,因此,对于高压功率器件与低压电路必须采用橹矢衾抢冒氲继宓难趸阕魑>到橹世唇ǜ哐购偷脱沟缏犯工器件。岣衾遣捎镁植康慕拥氐母吲ǘ鹊腜型杂质将高压器件形成在高浓度的蚪邪吧畹睦┥ⅲ浣峁钦加昧私洗蟮男酒婊虼耍本仍然较高。愿衾爰际抢酶哐购嵯蚱骷旧淼哪脱骨词迪指压器件与低压器件的隔离,这种器件需要设计成环状漏极或集电区。即漏区完全集成在中的产品的发展,即使采用际酰圃斓墓β始傻缏返男能也不理想。因此,以上所述的情况使得的发展远没有达到所能达到的水制