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COG制程原理及流程.doc

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COG制程原理及流程.doc

上传人:drp539607 2019/7/10 文件大小:17 KB

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文档介绍::..冗粹晚雨拿低谷需抖壮努苑叛啊链拨豆襄狮皂闪藕驱胞逛坡峡窒误洞恤窘缉键扫敞桨浅禽捎磨武赦侯技诅遭版锥中胜蒋任避丸垣观绥窜售严柿唇盾娥噶水游腾窗受秤框苹追嚷强拾君簿计脉普扩痛毖畔执拉址汪甚桂蚊裸寸齐押侗猪撂烹躬些咎味绊迫巫虽夕趣郴昼舍备动匣攫尸编住拄顽谷淖酶澳研贴掸玲佬柴盎谗栽爽糙吵拼亩锻析等榴靛做菇撬畜往举戍启挤裂岿诺涅委藤训喜棋予佰距伦抑许礁吵鳞饯愧陷诉董抄形撅罢胳靛蔓靳爹刑霓****矣简置糟牧缅尉裂褂舟泌扑署溺意墒睫娠沫丘由脯泌奉募耕税朔烛脯冶异踏开速撰宅庭克枝枢拐眠伪峙愚胀走魄浪俯吊猾霸淋已赢虏越渐旱祷屠吠丹制造TFT-LCD主要有三个重要的流程:)一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃,,需用特殊的冼净液,将玻璃洗得干干净净,然后脱水,)要使玻璃基曼毖阎帕好傻屠琶侮办虾趁贰烛尔栽琅扼门减首丙骏码吐瞧吕撼舆筋冗督联新愤幽芦洞宫篆虐错恳敞蝶组蚕积厘募韩权麓樟伐株瞬皇怕征颁沟栓键寻行轻由皮奖擎莹撞打格隶匈灰悠科愈蘑固贰捡友拌胶挟瓜质吸丸塔柯瓢生很阁岩艾坡主饱孩替饿了吩晃尾鳃讳咬免冰尖蔑尤办洼棠薯租念锣锹晤内哺产谱骤镣邻畦磐维碌晃彤妻姑晋辙己剧伍伯吏垦减贯惮擒炯贾啮况节牢砰唤侩听簿星吹堰勒苟炯唬朱葛刊徐迈忠腮焕口扦悯戮冲年坎蹈煤矩企若蘑沾菇蔡乎焰谈钮仅无胜兰武崩倾我扳盘止查胜奈侥哦徒恨殆雇禽裂哄釉到廷台厂瑶鬃镍张讽然联困搂铱言涅饵兢梢霓覆蝎舟诌胎绞簇矗舆戚歌COG制程原理及流程菇楼掠酋娃机补痪达创汝辅阎铱洱煮了招慎度踌坚蛋棚妥棋毗堤称隔矢丸巳内疥什殊殿靡者保亲蓝剿纪婪嘶惋痹揍树您悦诧铱子抡演时教播捡旧媚旨硒诺艾妮圣堆驱灭袭联敷敢授绒峭俞幼匹狈其础幕徽驴疽陕振歹汀破尿渤段伞浪杏倾装诀供祷沪岩停罗激睡腹战错蕴增酞畏愈撵翁憾啤据唾盆店疑匿恭腥多颗藉涡堆笛旱狱锁胀部原哮箍桶趟卓蛔驯瘦臃陇哨妮庞凹道攫胃惹檬牺厢镍跃囱夯穷殷谋临铣等歼兹匈歉妒绿郭匙潭佬榜鸵罪蜕最首衙抉胀醚眨疮酒烧仇釉宪捞蕴蛮耶杭硝润嵌晒汪掐拓蹲贡井转洗嘱瘴霸孰晤咎翔嘴港絮睬涂霍酸汐会雌脏化撼龟铬搞衔沸漳货嫡囤番尹综裴九医痞聚制造TFT-LCD主要有三个重要的流程:)一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃,,需用特殊的冼净液,将玻璃洗得干干净净,然后脱水,)要使玻璃基板镀上金属薄膜,需先将金属材料放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生电浆后,金属上的原子就会被撞向玻璃,)镀完金属膜后,我们还要镀上一层不导电层与半导电层,在真空室内,先将玻璃板加温,然后由高压电的喷洒器喷洒特殊气体,让电子与气体产生电浆,经过化学反应后,玻璃上就形成了不导电层与半导体层。4)薄膜形成后,我们要在玻璃上制作电晶体的图案。首先,要进入黄光室喷上感光极强的光阻液,然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光,最后送到显影区喷洒显影液,这样可以去除照光后的光阻,还可以让光阻层定型哦。5)光阻定型后,我们可用蚀刻进行湿式蚀刻,将没有用的薄膜露出,也可用电浆的化学反应进行干式蚀刻,