文档介绍：东南大学
博士学位论文
无生产线模式微波单片集成电路设计与实验研究
姓名:李芹
申请学位级别:博士
专业:电路与系统
指导教师:王志功
20050920
无生产线模式微波单片集成电路设计与实验研究摘要:微电子技术是现今电子技术发展的代表性技术。砷化镓器件及其微波毫米波集成电的设计和研制一般限于极少数军工研究所,本论文采用了无生产线姆绞缴杓屏艘掷开关上作出相应的改进,在频率范围内隔离度畲蟾衾攵却锏搅ひ斩陨鲜龅缏方辛松杓坪头抡妫ü钅拷写庸ぃ⒍孕酒辛嗽谄馐浴2馐越峁李芹洗笱淦涤牍獾缂傻缏费芯克暇路在微波、毫米波通信和军事领域显示出它的极大的重要性。但在中国,微波单片集成电路系列微波单片集成电路,并对此方面的产业化做出了一些创造性工作。设计了一种结构新颖、简单的ǘ蔚サ端揽9兀庵纸峁乖诘湫偷牟⒘,增,。利用工艺的特点,设计研制了了一种宽带获詈掀鳎⒗,在工作频率内实现了良好的驻波,输入输出回波损耗,β试鲆嫜顾醯阄,增益为采用上述ㄏ蚬β蜀詈掀魃杓屏テ胶馕拊椿炱灯鳎迪值男阅芪#在工作频段,变频损耗为菊瘢淦档母衾攵,射频一中频的隔离度振衅档母衾攵。本文采用镜腅法国的明:如果采用国外代加工工艺的工艺文件,采用一定的仿真软件和版图设计工具,电路设计能够达到预期效果,对推进这种类型芯片的产业化作出了有益的尝试。关键词:微波单片集成电路单刀双掷开关宽带低噪声放大器平衡式放大器无源混频器正交功率耦台器摘要。
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期:塑,.玎醵熟日期:如畉东南大学学位论文独创性声明东南大学学位论文使用授权声明研究生签名:导师签名:本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。日东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外,允许论文被查阅和借阅,可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布括刊登谌ǘ洗笱а芯可喊炖怼附件一东南大学学位论文独创性声明及使用授权声明文本
第一章概述微波单片集成电路的发展’,年在国际固态电路会议上宣布,最高振荡频率厶。达置。由于设计技术和工艺椒ㄈ涨鞒墒欤谌蚋鋈艘贫ㄐ拧⑽佬枪悴サ缡印⒖罩薪テ⒉ḿ傻缏发展势头非常迅猛,成电子技术产业是现代国民经济的重要基础,微电子技术是电子技术的重要代表。锗、硅及集成电路引发了现代产业革命,深刻地影响着社会生活的方方面面。继、之后,砷化镓器件及其集成电路在微波、毫米波通信和军事领域方面显示出它的重要性。年,半绝缘村底上薄层外延技术出现突破,促成了榛镓金属半导体场效应管难兄乒ぷ鳎鱿至诵⌒藕拧⒌驮肷鵊骷.,年辏琓戎瞥烧この猯的,截止频率达到晕5噪声品种。年,制成了双栅诞生了微波功率。据日本富士遁公司报道,该器件年的实验室水平为,M昝拦鶵公司报道的水平为,甮T谛阅茉对队庞谄渌烫件的小信号、低噪声突飞猛进地发展的同时,功率也取得了质的突破。年,在国际电子器件会议中,,腉由于分子束外延琈鹗粞趸锘嗟砘等材料生长技术与缱邮等微细加工技术相结合,诞生了、纫熘式岣叩缱忧ㄒ坡势骷=年来,叩缱忧ㄒ凭骞、赝配高电子迁移率晶体管蚆米波单片集成电路锹叫〉眯碌难芯客黄啤经过余年的发展,器件已经成为电子工业中门类齐全的器件产业、军事电子的重要领域。它的产品门类包括微波混合集成电路,微波模拟和数字单片集成电路,前锋以为代表,与其它化合物半导体鏘嘟岷舷蜃藕撩撞ê凸獾缂煞⒄埂K挠τ包括陆地、航海、航空、卫星的微波通信和检测系统,在电子战武器系统中也占有重要的位通管理、汽车防撞雷达、公路交通控制、其他仪表和消费类产品巨人市场的强力推动下,了许多国际会议的热门主题,美国及欧洲许多公司竞相研究,军事部门也倾注了极大的投资。
/倍,中大叮诩纳缱杞闲。绲冀洗螅子在高场内渡越时间较短。因此器件可获得比更高的工作频率和放大增益,从而浚琭【浚闷渖杓频腖驮肷糯笃能够在迪在涑β誓摹A硗饣褂卸嘀制渌δ艿腗叫簧杓瓶7ⅲ豪缬器件与电路的持续发展,主要基于如下优点:贕校ǖ嫉缱忧ㄒ坡疺·比电子峰值漂移速度/可能将双端口固态器件向毫米波扩教。牧媳菊鞯缱杪什桓撸鳪性床憧缮ぴ谧陨淼缱杪蚀笥甤的半绝缘衬底上,高电