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传感器第三章电容式传感器.ppt

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传感器第三章电容式传感器.ppt

上传人:465784244 2019/7/31 文件大小:3.59 MB

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文档介绍

文档介绍:一、变面积型原理见图。左图为角位移式电容传感器,当时当时由上式可见,与成线性关系。右图为直线位移式电容传感器,从图上可看出同样与成线性关系。对于直线位移传感器其灵敏度当位移量过大时边缘效益会使传感器的线性变坏。二、变介电常数型如图是一种变介电常数型的电容式传感器。气体介质部分电容量液体介质部分总电容令得下图,为另一种形式的变介电常数的传感器。三、变极板间距型原理见图。设初始时极板间距为,初始电容为,则当极板间距减少时,则电容量为将上式展开为级数略去高次项,得非线性误差这种传感器的灵敏度为了提高线性度,通常采用差动结构。如下图