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真空镀膜机安全管理规定.doc

上传人:sanyuedoc2018 2019/8/25 文件大小:43 KB

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文档介绍

文档介绍:行业资料:________真空镀膜机安全管理规定单位:______________________部门:______________________日期:______年_____月_____日真空镀膜机安全管理规定真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书,了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训,熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范,方能独立上岗操作。一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象,接上电源,并检查真空室内电极绝缘性,钨丝接触是否可靠,工件架转动是否自如。联轴器,输入电极接触是否良好,各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源,各种机械泵转向都应正确。注意:试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。经过上述检查,各项性能良好,才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气,还必须进行炼气,就是按照操作规程,不进行镀膜,只让机械泵、扩散泵等连续抽气,察看真空度上升的稳定情况,若真空度保持稳定,才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查:、满足以上各项检查后,进入操作和使用:,请勿以断拉闸(断电)方式停机。,请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件,注意安全。。。。。三、工作中还必须注意以下几点:,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长期暴露在大气中;-250次后,要清洗真空室和工作支撑架;,特别是动密封圈,定期给动密封圈加上真空脂;,清除灰尘,更换烧坏的电器元件;;、粗抽泵、维持泵要定期加油,换油(保持油面在油镜中心为佳);,必须进行检修;,再关闭精抽、前置阀,待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气,否则会烧坏电离规管,氧化扩散泵油及发生不必要的以外;,不得断水,若在工作过程中突然停电,应马上关闭精抽阀门,减少因系统漏气泵油的氧化;,否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体,会损坏罗茨泵。真空镀铝机安全操作规程1目的:为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故,为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害,特制定本文件,为操作镀铝机提供正确指引。2范围:适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。3职责::执行本文件规定项目和内容。:监督当班人员按本文件规定执行,负责日常巡查和纠正违章操作。:负责全厂区范围内巡回检查,发现和取证各车间违章操作行为。4操作具体要求:,检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常,保证三相电压>370V,保证油水分离器处的气压>、冷却水进水压力>(),<,确

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