文档介绍：致谢支持才使得我的科研项引顷利进行。论文得以顺利完成,首先感谢我的导师章海军教授。在近三年的研究生学****中,章老师在学****和科研上给了我巨大的帮助和鼓励,在本课题的选题、研究和论文的撰写修改过程中,章老师始终给予我认真细致的指导。章老师渊博的知识、严谨的治学态度、活跃的思维以及平易近人的人格魅力都深深地影响着我,相信会让我在未来的人生道路上受益匪浅。感谢我的合作导师张冬仙教授。在整个研究生学****中,张老师给予了我极大的关怀和帮助。除了在科研学****上之外,在生活中张老师也给予了我无私的体贴和照顾,让我一直满怀信心的积极探索。张老师勤奋的工作作风、求是的科研态度和积极向上的生活观念是我学****的榜样。还要感谢光电系叶辉教授,叶辉教授提供了原子力显微镜的实验样品,有叶辉教授的我为能来到这样一个温暖的家庭般的实验室而铭感于心,在此,谨向两位老师近三年来对我的辛勤培养和谆谆教导表示最衷心的感谢,并向你们致以我最崇高的敬意。在本课题的研究过程中,得到了实验室各位同学的热心帮助,本文的顺利完成与他们的大力支持是分不开的。首先感谢桑青硕士和王旭龙琦博士在课题研究中对我的帮助和指导。然后感谢已经毕业的伏霞博士、侯海飞硕士、赵冬伟硕士和支绍韬硕士对我的帮助与照顾。最后感谢实验室里一起学****工作的陈欢、李方浩、王淑莹、史斌、胡晓琳、孙理斌、陈礼诚、韩旭、徐越、叶鸣、和许睿,是你们让我感受到实验室的温暖,也让我的研究生生活绚丽多彩。感谢我的室友郭晓敏,姜虹和朴美敬,我们一起度过了非常愉快和难忘的岁月,也相互见证了各自的成长。在近三年的朝夕相处中,我们已经在彼此的人生篇章中留下了最深刻的印记。特别感谢国家自然科学基金的资助,有它的支持和协助才使我走到今天。最后,感谢我的父母和家人对我二十多年以来的照顾和关爱。感谢我的朋友,感谢所有关心支持我的刘明月年月于浙大求是园人。浙江大学硕士论文
摘要尺寸非常小,无法使用肉眼直接观察;另外样品被扫描的区域也十分微小,同样需要在扫描前预先选定一个大致的扫描范围。没有显微监控单元,扫描时样品表面状况和探针逼近样品的过程都不可见,在选择扫描区域和控制探针样品逼近过程时存在很大的盲目性。如首次提出了一种可提供样品高精度微纳米检测,也可同时实现对样品特定区域选择性在保持纳米量级扫描精度的基础上,可选择样品的扫描区域和监控探针一样品逼近过程,监控实验、样品选区扫描实验,也开展了本系统的小范围高精度扫描性能测试实验,得到微纳米检测技术越来越成为现在世界科技发展的前沿之一,对现代科学技术的发展和社会进步起了非常巨大的推动作用。而扫描隧道显微镜朐恿ο晕⒕等超高分辨率的仪器已经成为纳米领域里不可或缺的重要检测工具,尤其是蛭它不受样品是否导电的限制而广泛被应用于微电子学、医学、生物学、物理学、化学与精密机械及微纳米技术等领域。目前,世界上大多数传统的济挥邢晕⒓嗫氐ピ!5茿的微悬臂秸果探针针尖正好在样品表面的疵点上扫描,结果只能获得错误的表面信息;或者在探针一样品盲目进给过程中,很可能会折断探针或者对样品表面造成划伤。因而它们在性能和技术指标方面均存在局限性。为此,本文发展了一种新型采用显微监控的可选区原子力显微镜新方法。并在此基础上研制出了一套可选区低常ㄏ晕⒓嗫氐ピ:托滦凸馐偏转法检测系统以及步进电机等部分。该系统采用显微监控单元和璨糠纸舸占成的方法,在保证最佳光杠杆放大比的基础上,既可以实现样品高精度微纳米检测,也可同时实现对样品的特定区域选择性扫描和样品探针逼近过程的监控。本文分别从理论方法、系统设计以及实验技术等各个方面对此低辰辛讼晗阐述,本文的主要工作及研究内容如下:扫描和样品探针逼近过程监控的路椒ā8眯路椒ń裘芗闪讼晕⒓嗫叵低澈虯,克服了常规木窒扌裕J迪稚栌爰嗫赝浇刑峁┝诵峦揪丁研究和发展了一种新型采用显微监控的可选区原子力显微镜系统。主要包括显微监控单元、新型光束偏转法检测系统以及步进扫描电机等部分。该系统性能良好、运行平稳,既可以实现样品高精度微纳米检测,也可同时实现对样品特定区域选择扫描和探针一样品逼近过程的监控。可望在微纳米加工制备、微纳米操控及微纳米检测等领域得到广泛应用。利用本系统对多种样品进行了韬图嗫厥笛檠芯俊0ㄑ诽秸胍槐平浙江大学硕士论文
了良好的实验结果。实验结果表明,本文研发的采用显微监控的可选区原子力显微镜系统,具有稳定良好的性能,可实现在保持高精度扫描的基础上对样品选择区域扫描和探针一样关键词:晕⒓嗫兀饴罚枨蜓≡瘢秸胍谎繁平嗫兀叻直媛剩浇品逼近过程监控,可完全满足科研及工业等领域扫描检测的需求。扫描台浙江大学硕士论文
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