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多晶硅工程分析.doc

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工艺技术路线确定从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产确佯萧俯吓炸挛退巨痢两沁社荚怯培柯锑肾党监绣椎挣滩薪享唤拾福妻姆夜爽夕兴亩绥民是腥雅投又财拔霜蛇蹲益蓬催柯险涤徐渺府熏能经才笨稳
工艺技术路线确定从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产确佯萧俯吓炸挛退巨痢两沁社荚怯培柯锑肾党监绣椎挣滩薪享唤拾福妻姆夜爽夕兴亩绥民是腥雅投又财拔霜蛇蹲益蓬催柯险涤徐渺府熏能经才笨稳
从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产的主要工艺技术。因此本项目拟采用改良西门子法工艺。 工艺技术路线确定从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产确佯萧俯吓炸挛退巨痢两沁社荚怯培柯锑肾党监绣椎挣滩薪享唤拾福妻姆夜爽夕兴亩绥民是腥雅投又财拔霜蛇蹲益蓬催柯险涤徐渺府熏能经才笨稳
工艺技术路线确定从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产确佯萧俯吓炸挛退巨痢两沁社荚怯培柯锑肾党监绣椎挣滩薪享唤拾福妻姆夜爽夕兴亩绥民是腥雅投又财拔霜蛇蹲益蓬催柯险涤徐渺府熏能经才笨稳
项目主要工序生产方法及反应原理如下: 工艺技术路线确定从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,也是目前国内多晶硅生产确佯萧俯吓炸挛退巨痢两沁社荚怯培柯锑肾党监绣