文档介绍：质量流量控制器简介上海堀场贸易有限公司质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。质量流量:质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量,工作时不受外界的温度和压力的影响。CONTROLELECTRONICS(P-I-D)SIGNALPROCESSING电源:+/-15VDC设定信号:0‒5V输出信号:0‒5V进气端出气端什么是质量流量控制器阀驱动传感器控制阀侧流管MFC的内部结构图传感器的结构热传感器TuTuTdTd△,当没有气体流入时,传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。当有气体流过时,上流端的自加热电阻产生的热量被带走,从而两端形成一定的温度差,使传感器两边的温度曲线分布不再平衡。传感器・侧流管传感器在不同压力下的特征必须使侧流管设计为层流结构,这样才能流出相对稳定和精准的流量。(実用新案第1416269号)侧流管在不同压力下的特征压电陶瓷驱动器陶瓷的堆栈结构外壳构造干燥的氮气连接端口陶瓷驱动器的内部结构MFC的阀结构陶瓷阀的工作效果图_+_+提供高的直流电压压电元件移动方向压电元件的伸长MFC的阀结构5V0FlowRate(sccm/slm)10096104零点对实际流量的影响+200mv-200mv200mV÷5000mV(5V)=(4%)→ M×4%=M5V0FlowRate(sccm/slm)M–标准立方厘米每分钟SLM–m=M和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度,一个标准大气压的条件。 在美国,标准条件被广泛接受和认同。 .然而,M/LM(日本)–温度为25C,一个标准大气压 NCCM/NLM(日本)–温度为20C,%。M/SLM及区别气体AN2真实流量需要流量QA=*QN2QA::气体A到N2的转换因数QN2:N2的流量转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界的压力和温度的影响而稍有不同。 转换因数是使用氮气进行转换,如果是用其它气体作为测量气体,那么测出的气体流量值则会偏差很大。N2什么是MFC的转换因数