文档介绍：南开大学
硕士学位论文
声表面波气体传感器的优化设计与实验研究
姓名:康红
申请学位级别:硕士
专业:光学
指导教师:赵启大
20070501
摘要且能广泛用于环保、安全检测领域,因而具有重要的经济和社会效益。饕2隽松砻娌ㄆ宕ǜ衅鞯姆⒄估罚蛞=樯芰松砻娌ㄆ颐欠治隽瞬煌各向同性非压电基体和各向异性压电基体奈锢性质,比如机电耦合系数、温度系数、传播损耗等,最终确定了采用衵方向金属导电薄膜和金属氧化物半导体薄膜狡搴蠖云狄频挠跋旎恚捎锰度对检测性能的影响。我们采用数字合成信号发生器褪质静ㄆ进行了初步的气敏性实验,发现经过笃挡钗榷ㄔ.,充入空气芯苛松砻娌ㄆ宕ǜ衅鞯缏贩矫娴南喙乩砺郏⑶疑杓瞥鲂阅芪榷发现频率变化很快,声表面波,气体传感器是基于新原理、新材料、新工艺而制作的新型传感器。它具有高精度、高可靠性和动态响应快的特点,并本文主要围绕国家自然科学基会资助项目,新型多通道声表面波气体传感器研究和市科技发展计划一科技攻关项目,多通道声表面波化学传感器的研制认钅空箍Q芯俊V饕D谌莅ǎ传感器的基本形式、优势及前景。陨砻娌ㄌ匦缘幕纠砺郏饕J侨鹄ㄔ诟飨蛲苑茄沟缁搴透向异性压电基体中的传播特性进行分析,并且阐述了声表面波气体传感器的工作原理。传播的锂酸铌晶体作为基底材料。我们分析了不同的薄膜飨蛲跃挡牧稀菁铜半导体薄膜作为检测二氧化氮气体的敏感薄膜,并且分析了半导体薄膜厚后,经过一段时间,频差基本上回复为未充入二氧化氮气体前的值,这表现出酞菁铜薄膜具备高的灵敏度、良好的选择性、可重复性和快速的响应及恢复。的驱动源电路,使其产生的中心振荡频率与声表面波器件需要的频率一致,?椤⒙瞬?楹驼文?椋分别由模拟乘法器、七阶契比雪夫电路和迪郑饪晌<觳馓峁便携设备。我们采用该驱动源电路和混频电路对二氧化氮气体重新进行测试,后频差稳定在淙肟掌螅欢问奔洌差呵基本上回复为未充二氧化氮气体莳的值。员疚慕凶芙岷驼雇
关键词:声表面波,气体传感器,压电基底,敏感薄膜。摘要
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第一章绪论第一节声表面波气体传感器的发展历史一篇短小精悍的论文,题目为“沿弹性体平滑表面传播的波”【俊J状翁岢隽松作为超声波探伤的一种手段,用于检测金属零件的表面缺陷。与地震领域相比,无损检测所使用的声表面波频率较高U缀帐考,并且是单一频率近几十年来,人们对拘灾实娜鲜对嚼丛缴钊耄乇鹗辏,之后,大大加速了声表面波技术的发展,相继出现了许多各具特色的骷拐饷拍昵岬难Э浦鸩椒⒄钩晌迅速成为继陶瓷半导体之后的后起之秀。现在际醯挠τ靡焉婕靶矶嘌Э领域,例如:地震学、天文学、雷达通讯及广播电视中的信号处理、航空航天、构成信息产业的三大支柱,同时也是信息技术领域中的薄弱环节,加强传感器技术研究具有重要意义。传感器技术己被许多工业发达国家列为现代和未来科学研究和技术开发规划中的首要战略重点。目前传感器在种类、质量和功能上声表面波,际跏堑缱友А⑸А⒐庋А氲体平面工艺和微细加工相结合产生的一个新兴的科学技术领域。声表面波是沿弹性体表面传播的弹性波。英国物理学家瑞利曲攴⒈砹表面波,这就是广为人知并以他的名字命名的瑞利波。它是能量集中于固体表面,并沿表面传播的弹性波。进入十九世纪四十年代后,声表面波首先应用于无损检测领域。当时,.⒚髁四茉谘沟绮牧媳砻婕だ鳶的金属又指换能器新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科】。而且,由于美、德、日、法和俄罗