文档介绍：电子科技大学
硕士学位论文
半导体并联生产线预防性维修调度和评估系统的设计与实现
姓名:王强
申请学位级别:硕士
专业:机械制造及其自动化
指导教师:李波
20100601
摘要论文基于的研究项目来源于四川省青年基金项目己牛懊向迂回生产流程的多目标生产规划研究0氲继逯圃炱笠凳褂昧舜罅靠梢酝ü变生产参数来加工不同产品的并联柔性生产线,这对生产线预防性维修的调度和评估提出了更高的要求。准确的预防性维修调度是预防性维修实施的前提,而合适的预防性维修评估方法是保证调度正常实施的基础。本文以半导体制造企业并联生产线为研究对象,进行了预防性维修调度和评估研究,并设计和开发了预防性维修调度和评估系统。首先,建立了半导体并联生产线预防性维修调度模型。详尽剖析了半导体并联生产线的特点,解析了预防性维修调度需要考虑的各种约束因素,确立了以产能最大化为目标函数并综合考虑多产品产量要求、预防性维修时间宽放区间、维修班组数量作为约束条件的预防性维修调度模型。通过该模型在某半导体生产线预防性维修调度实例中的应用,证明了该模型的准确性和实用性。其次,建立了适用于半导体制造行业的预防性维修的评估体系。对目前维修指标分类进行了研究,确定以预防性维修操作时间、后续产品质量、设备性能指标作为预防性维修评估的指标体系,鉴于目前用于维修评估的设备性能指标会受到人为计划安排时间的影响,另选不受人为计划安排时间影响的指标,然后通过对不同指标在不同时间周期的相关性分析,最终确定了设备性能指标的采样周期。最后,设计并实现了半导体并联生产线预防性维修调度和评估系统。基于前面建立模型和评估指标体系,根据某半导体封装测试厂的实际情况,设计了半导体制造企业预防性维修调度和评估系统的功能结构、业务流程、数据库,提出了预防性维修调度的具体算法、预防性维修评估数据预处理的算法、预防性维修评估统计图表绘制的有效方法,在教ㄉ嫌肕成开发环境和、菘馐迪至税氲继宀⒘I产线预防性维修调度和评估系统,并通过实例运行验证了系统的可靠性和准确性。关键词;维修调度,预防性维修,维修评估,半导体制造集
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导师签名:施签名:』弛日期:叩知年舌月弓日至握独创性声明论文使用授权日期:年本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名:本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑
第一章绪论课题背景半导体产品的加工制造是当今最复杂的制造过程之一。近年来,伴随着现代工业和科学技术的快速发展,制造系统的结构日益复杂,各种高精尖设备、自动化生产线、柔性生产设备等已广泛应用于半导体制造企业。半导体工业的复杂性决定了其对于高精、复杂设备的高度依赖性;大量复杂设备的应用也决定了半导体工业是初期投资额大的高技术产业。随着企业对设备的投资越来越高,设备的故障、微小停机、综合利用率低下常常会给企业造成巨大的经济损失。同时设备不断复杂化和高精密化的发展,导致了维护和保养的工作难度日趋升高,维护的费用和强度不断加大,这也就给设备的维护与保养提出了越来越高的要求。设备预防性维修琍作为企业设备管理的重要环节,是实现设备高效运转和保证产品的品质、.成本、交期和安全各项目标的重要手段。预防性维修是通过周期性的检查、分析来制定维修计划的管理方法,旨在设备出现故障之前对设备综合采用各种可能的方法、手段、技术改善设备性能,以实现设备应有的功能【俊Mü行У脑し佬晕蘅梢韵灾档蜕璞腹收下剩跎非计划的故障停机损失,减少因故障引起的产量、质量损失,规避安全事故,避免潜在故障在发展为功能故障过程中产生的链式损坏,因而可以降低维修更换件费用O冉脑し佬晕藜际蹩梢员苊庠诓沸枨笸就;煨蓿陨鞒不造成影响,并且能够使设备检修从技术和备件上更有准备,从而大大减少设备停机待修和检修时间【。预防性维修的出现使得减少故障性停机有了可能,然而预防性维修本身也是对于设备的操作,半导体行业的设备由于市场需求的推动经常处于不间歇的运行状态,预防性维修本身也是对设备生产加工时间的侵占,因此精确地制定维修计划,权衡故障停机与维修停机对于生产延续状态破坏的轻重,成为预防性维修实施获益的前