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GaN制程设备简介.ppt

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GaN制程设备简介.ppt

上传人:kt544455 2019/11/3 文件大小:2.25 MB

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文档介绍

文档介绍:(旋干机)(化学气相沉积系统)沉积SIO2/SINx作Hardmask阻挡层沉积SIO2/SINx作绝缘层,(等离子蚀刻系统)-step(表面纵深测量仪)/(上光阻机)(曝光机)