文档介绍：--------------------------校验:_____________-----------------------日期:_____________无尘车间洁净度标准无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车x个/m3X个,用Y表示级别。表9、图2表示了JISB9920的级别的主要内容。净化间级别粒子室内压力PammH2O温度湿度气流换气次数照度粒径um累计粒子数范围(℃)推荐值(℃)差(℃)高(%)最低%误差%1001000**********≧≧≧5≧≧5≧≧51001000101000065100000700+13以上—25±特别时为±4530±10特别时为±5层流方式±非层流方式≧20次/h1080--1620级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。*级别名称**级别上限值粒径粒径粒径粒径粒径5umSI***EnglishUnit(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)MIM2M3M4M5M6M7110100100010000100000350124035001200035000----------------350991----------------265757265075702650075700------------2147502140------------106309106030901060030900------------300875------------1003531000353010000353001000003530001000000353000010000000100283100023801000028300100000283000--------------247618247061802470061800--------------1757001750*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。**针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。粒子直径/m3=10M,其中,M:SI单位里的级别名称,D:粒径(um)***国际单位(SystemeInternationald’Unites的缩写)图1,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。()内数值是用Englishunit表示级别。图2,JISB9920的洁净度级别的上限浓度表9,JISB9920主要内容净化间级别标准粒径(um)累计粒子数(个/m3)12345678101102103104105106107108表10,美国航空宇宙局规格主要内容生物净化间级别粒子生物粒子室内压力PammH2O温度℃湿度%气流换气次数照度Lx粒径um累计粒子数个/ft(个/l)浮游量个/ft(个/l)沉降量100**********≧≧≧5≧≧510010000(350)100000(3500)700(25)1200(12900)6000(64000)30000(323000)+13以上推荐值40—50层流方式±非层流式≧20次/h1080—1620三、不同用途所要求的洁净度—表11,各产业所要求的净化间级别一览领域和产业洁净度标准(级别)内容SIEnglishunit半导体工业(IC、LSI等)掩模板对准工艺100刻蚀工艺100腐蚀加工扩散工艺100高纯度扩散蒸着工艺100高纯度电镀涂布工艺100感光剂涂布电子设备计算器制造10,000磁头阴极射线管10,000,遮屏磁带10,000防止杂音精密仪器陀螺、微型轴承10,000提高精度导弹部件、继电器10,000防止误动作钟表、小型计量仪器10,000组立、封装、修理光学、印刷照相机、印刷电路板10,000制作镜头、胶片1,000连接电子制版10,000制作、检查化学药品注射液充填100调和、充填无菌动物养育100SPF化学药品抗生物10,000充填、检查一般医疗品100,000制造食品酿造、发酵10,000防止酱油、大酱腐坏乳制品、生食品100,000防止酸乳酪变质食肉加工10,000火腿、香肠搅拌(弄成糊状)食品10,000搅拌后备烤的圆筒形、半圆形鱼肉、鱼肉山芋丸子等食品制冷时防止细菌粘附上。医疗手术室100股关节手术、脏器移植特殊治疗室100白血病、烫伤恢复、新生儿室10,000早产儿、术后防止感染临床检查10,000菌类培植、检查农林畜产蘑菇栽培10,000防止蘑菇种菌被杂菌感染植物100,000兰花栽培(试验用无菌植物、强势培植植物)养殖10,000防止鱼、蚕类因菌侵袭致死微生物工程一般病原体100马尔堡病毒、拉萨氏热、艾伯拉出血热(排出空气)基因转换100大肠菌(排出空气)三、净化间的形式分类作为净化间的分类方法,一