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TFC膜系设计中文教程.doc

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文档介绍

文档介绍:TFCalcExamplesAntireflection(AR)FiltersPageAR-1Single-LayerDescription这是最古老的AR设计。假定入射介质是空气,基板具有折射率Ns,那么折射率小于Ns的任何药材组成的四分之一波长厚度的膜层,其反射在参考波长下都最小。若膜层的折射率是Ns的平方根,则其反射在参考波长处是零。但若Ns<,则不存在反射可以降到零的永久药材。在这种情况下,我们需要一个两层的膜系。%,%。Antireflection(AR)FiltersPageAR-2Two-Layer(Vcoating)Description一个两层膜的AR膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波器可以在某单一波长处反射为0,这就是称其为V-coating的原因。对于给定的两个药材,可以有两种产生0反射的设计。但此种膜系的缺点就在于0反射处波长对于加工误差很敏感,这可以用本软件显示其敏感度来说明。Plot此图显示的是两种设计的反射。ment层之间。为使反射降到0,可以用优化来确定两个膜层的厚度。Antireflection(AR)FiltersPageAR-3Two-Layer(Wcoating)Description一个两层膜的AR膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波器的另一特性是可使某一范围内的反射很低(但不为0)。这就是为什么称它为W-coating。Plot这是经典的H/2L/mentAntireflection(AR)FiltersPageAR-4Three-LayerDescription一个三层膜的AR膜系比两层的在反射上可以有更多的控制。这种膜系的成功之处很大程度在于找到三种折射率可以和基板,入射介质相兼容的药材。Plot这是经典的M/4H/2L/4设计。它具有在一定程度上消除色差的优点。Antireflection(AR)FiltersPageAR-5Four-LayerTwo-MaterialDescription三层的AR膜系为了得到最好的性能,需要3种药材,这是其弱点,也很难找到。现在,只要将贴着基板的那个膜层用等价的3层的膜堆取代,就可以克服这一缺点,这里的膜堆是由其它两种药材组成的。。但应用优化,对于指定的基板和波长范围,我们可以很容易的设计出4层的膜系。Plot细线表示的是用等价的膜堆HLH取代膜层1后的4层设计的反射曲线。在对450---650nm优化后,其反射就是粗的那条曲线。注意反射范围已经改在0—%,以更清楚的显示其性能。Antireflection(AR)FiltersPageAR-6Two-ZeroDescription对于一个在两个波长处抗反射的膜系来说,一个三层膜的设计便是其基础。这样的膜系在倍频处(即一处的波长是另一处的2倍)经常发生。通常的设计是使用三个四分之一波长厚度的膜层,用优化来调整两个膜层的折射率,使在想要的两个波长处的反射为0。若调整后的折射率与实际药材的不接近,则其中一层或两层都要被等价的LHL膜堆代替。在这种情况下,需要再次优化设计,以校正因LHL膜堆带来的轻微色散造成的影响。Plot这并不是一个倍频的例子;波

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