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学位论文作槲稿赢鳓期:排年弓月阢糊槲张秘赢翩张洲晁暝耭浙江大学研究生学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书签字日期:沪撰写过的研究成果,也不包含为获得逝姿盘堂或其他教育机构的学位或证书而交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝望盘堂可以将本学位论文作者完全了解迸姿盘鲎有权保留并向国家有关部门或机构送本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或使用过的材料。。学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ签字日期:年月
摘要绝缘栅双极型晶体管捎谄浣细叩目关速度、较低的功率损耗以及易于控制和驱动而广泛应用于电力电子领域。尽管三十年来技术不断发展,性能不断提升,但国内芯片的设计与制造还处于起步阶段。极大的市场需求与落后的制造水平成为国内领域的突出矛盾,但同时也是我国发展产业的巨大动力。本文从基本工作原理出发,阐述了的发展历程,并通过解剖市场现有芯片,清晰的展示了芯片内部结构。文中主要使用镜软件进行仿真工作,研究了器件结构对器件特性的影响,基于此设计了一款谴┩ㄐ虸峁梗饕0ㄔ0杓坪椭斩松杓疲苯岷系鼻肮诠艺条件水平,本文还设计了的工艺制造流程以及芯片版图。通过以上工作,本文基本覆盖了芯片设计的全部流程。在文章最后部分,分析比较了目前硅单晶制造方法中的直拉法、区熔法以及磁场直拉法,提出用磁场直拉单晶硅制造芯片,并通过仿真分析电阻率不均匀分布对击穿电压的影响,验证了这一方案的可行性。关键词酒杓疲ひ樟鞒蹋嫱迹懦≈崩ゾ浙江大学硕士学位论文
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⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯发展概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..国内外产业现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本文主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第翴驹砑疤匦工作原理及结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯工作特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.—芯片分析与设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯芯片分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..酒8恰疎分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.结分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..馐浴元胞设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⑸淝纳杓朴胗呕终端结构设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...β势骷斩思际酢终端设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第—版图及工艺设计与小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..浙江大学硕士学位论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~●●●Ⅲ●●川●ⅢⅢ●●.
版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.,.ò嫱忌杓啤璲⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.斩税嫱忌杓啤版图结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.工艺流程设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第翸法拉制单晶应用于生产的研究硅单晶制造技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...≈崩ā电阻率非均匀分布的仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.。攻读硕士学位期间主要科研成果致谢爿、,⒔帷浙江大学硕士学位论文.⋯..
第滦髀课题研究背景近年来随着社会科技的日益发展,能源、环境问题日益受到人们关注,低碳时代即将到来。。新能源’’、“电动汽车”、“高速铁路”、“智能电网”、“变频家电”等成为了人们生活中的热门名词,而这些产业或产品都无一例外的依赖于电力电子器件的应用。诞生于上世界年代初的绝缘栅双极型晶体管综合了两种器件的优点,具有电压控制、输入阻抗大、驱动功率小,开关损耗低、工作频率高、安全工作区宽、导通电阻小和电流密度大等优点,成为当前电力电子器件领域不可或缺的产品,广泛应用于变频器、牵引传动、开关电源、交流电机、电能输送等领域【¨。’经过三十年的发展,俨然已成为