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。竺粃。实测试结果与分析验第卷力强、较低的电子诱生缺陷和阈值电压低等优点,使其在探测、蓝紫光⒐狻⒆贤夤夥段诘非线性光学器件等领域具有巨大的应用前景心’.因此,、窑炉控制、污染监测、导弹发射预警、医药、生物等领域越来越重要,为了更加精确的监测紫外光,需要紫外探测器对红外线和可见光不敏感,也就是说紫外探测器需要具有“日盲”的特性,然而传统的基紫外探测器不“日盲”并且需要额外的过滤器来削弱可见光和红外光的影响,这些方面哂蟹浅4蟮挠攀疲抢硐的紫外探测器材料【本文采用射频磁控溅射工艺制备∧ぃ以此为有源层设计了垂直结构的/疉ぬ基势垒二极管紫外光电探测器原型器件,并对其肖特基接触特性、,以基为衬底利用射频磁控溅射制备一层∧ぃι湮露瓤刂圃,工作气氛为慷任和慷任的混合气体,×~,海篈贡任:ü髁考品直鹂刂.%ι淝俺牡追直鹩萌ダ胱铀!⒕凭超声波清洗褂肈一型真空干燥箱,在真空条件下,,制作/疉ぬ鼗评荻ü:在清洗过的玻璃基板上直流磁控溅射制作膜电极;射频磁控溅射制作性床惚∧げ⒙—∧さ慕峁剐阅芙蟹治觯肒半导体测试仪测量器件的电压一电流关系,利用猇测试仪测量器件的电容一电压关系,■■■∧そ峁固匦杂氡砻嫣匦衬底上的∧计祝悠淄贾锌梢钥闯觯烦鱿至饲康臀⑷醯衍射峰,,半高宽为#砻髟诔牡孜露、慢退火工艺条件下的∧の5ゾ澹渚哂辛己玫腃轴择图荶薄膜的表面扫描电镜图,从表面图可以看出薄膜的颗粒大小均匀,结构致密,砻光滑,∧び薪虾哈尔滨理工大学学报在,靶材为纯锌靶慷任室温;直流磁控溅射制作膜源电极