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载气流量对撼宀闵さ挠跋邓旭光军涎藁,汪加兴明翔堆敲,朱建军疟λ崔发光学报蠰眈赼,:甧..摘要:在牡咨嫌媒鹗粲谢喑粱设备生长了虶薄膜。采用高分辨生长速率的提高。原子力显微镜测试表明:随着髁康脑黾樱珹表面粗糙度也呈上升趋势。..第卷第年文章编号:线衍射、椭圆偏振光谱仪和原子力显微镜研究了撼宀闵な钡脑仄流量变化对庋硬愕挠响。椭圆偏振仪测试表明:相同生长时间内暮穸人孀臜,流量的增加而增加,即流量增加会导致明:随着な钡腍:流量的增加,逯蛋肟碓龃螅绰菪痛┩肝淮砻芏群腿行痛┩位错密度增加。可能是由于撼宀愕谋砻嫘蚊步喜睿贾翯的晶体质量有所下降。实验结果表明:采用较低的毫髁可ぃ痥缓冲层可以控制纳に俾剩谝欢ǔ潭壬嫌兄谔岣逩的晶体质量。关键词:氮化镓籄缓冲层;涸仄籗牡祝唤鹗粲谢喑粱中图分类号:文献标识码:琖,.北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室,北京;泄蒲г核罩菽擅准际跤肽擅追律芯克擅灼骷胗τ弥氐闶笛槭摇M∷账罩—,獂,珻,—,—,。:琫...∞瑃收稿日期:..;修订日期:..基金项目:国家自然科学基金,,还医艹銮嗄昕蒲Щ槐本┦凶匀豢蒲Щ,资助项目作者简介:邓旭光,男,内蒙古呼和浩特人,,,,簒..
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引言是疓异质结构具有高密度和高迁移率的二维电子气,因此,⒌缱悠骷的温度范围内工作,其高频、大功率和强抗辐射能骷愿咂德屎痛蠊β实拇砟芰Χ杂发展高级通信网络中的放大器、调制器以及其他关键器件都很重要。目前,限制骷柿件集成,因此,,改善衬底的浸润性。最初曾采用低在蓝宝石和牡咨鲜褂茫ú皇屎蟬牡住因为庋硬阈枰8呶律ぃ傻臀碌礁呶碌发生反应形成合金,使得衬底表面粗糙,—菀仔纬桑虼薃缓冲层可以抑制量,而且撼宀愕娜任榷ㄐ院糜贚狦。因此,上外延ǔR訟作为缓冲层。采用“两步法”外延墓讨小缓冲怪狈较虻纳に俾式虾嵯蛏に俾士欤而导致粗糙度变大。赵德刚等发现,撼但是,当砻娴牡好芏冉闲⒕Я3叽缃洗时,木逯柿拷虾谩K茄芯苛薓以4淼牡谌氲继寰哂薪度大、击穿场强高、热导率高、耐腐蚀等优势,特别在军用和民用领域得到了广泛应用。⒌⋯。随着骷际醯娜战コ墒欤嗟骷ɑ嵊糜谟詈较低成璞钢校褂詈较低的工作能力与可靠性得到提升。在民用方面,和价格的因素之一是衬底材料。牡滓丫业化。但价格一直偏高。蓝宝石衬底不导电,使用范围有限。相比于前两者,衬底的价格便宜,而且基骷锌赡芎拖钟械腟缱悠来越好。上外延鎙临着如下几个问题:其一,牡缀虶的晶格失配和热失配较大⋯,当庋硬愠俳绾穸仁保核困难并且木逯柿亢捅砻嫘蚊步喜睿黄三,表面的氮化也对庋釉斐刹涣加跋欤,会与反应形成嗑В贾翯晶体质量下降。上述问题在一定程度上已经得到了解决。常用对策是“两步法”外延,即在衬底上先外延一层成核层或称“缓冲层”,再生长外延层。,如多孑瓵,以及嗑Р愕男纬桑欣谔岣逩的晶体质层对庋硬愕挠跋旖