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/微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟高书侠,素,张连珠引言P图八惴张孟秀兰,计算物理等离子体溅射在清除阴极材料表面的杂质、薄膜制备和固体材料表面分析技术等领域得到越来越广泛的应用,¨‘谑导视τ弥校臃肿如海琋:囊跫ńι湟布9惴海⒂⑸从ι傻;铮改耆嗣嵌琓等新型氮化材料合成,使得氮气放电阴极溅射越来越受到人们的重视¨。..蚔瓵靡恢旨蚧慕馕瞿P研究了平板辉光放电中阴极溅射原子的热化过程,在此基础‘采用三维的瓹方法,模拟了气平板阴极辉光放电中溅射原子的三维轨迹,、中性粒子或离子,,离开阴极后,、非平衡、,具有一些独特的电光学特性:如放电空间具有高浓度电子和离子、由于圆筒空心阴极面积大且包围着等离子体,溅射作用强,尤其是可以在小空间形成有效的溅射等¨’疚牟捎萌腗P停D獾N⒖,—诺缈占溆稍餐残涂招囊跫ê土礁鲈才萄艏ü钩桑缤浒刖禿.,长度,气压,,放电空间的正离子轰击靶材时,平均每个正离子从靶材中溅射出的粒子数,称为溅射率,文章编号:要:采用椒D釴:/微空心阴极放电等离子体阴极溅射过程,其中,氮离子:琋轰击阴极表面采用疢P湍D猓扑憬ι漕言拥娜然獭㈩言拥拿芏燃捌淦骄芰糠植迹峁砻鳎馗鞣向溅射出的%金属原子所带的初始能量小于,其散射角主要分布在V洌唤ι銽釉诶胛关键词:微空心阴极放电;阴极溅射;氮等离子体;狢模型第卷第颖笔Ψ洞笱锢砜蒲в胄畔⒐:文献标识码:高书侠,女,副教授,主要从事低温等离子体数值模拟研究,:基金项目:作者简介:ㄑ蹲髡撸——;修回日期:——河北省自然科学基金手钅张连珠。:一瓹甆
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邺丛笋击舞丽。砂,糁0耄铲后⋯。!璼—荩。』’面凇#琾’痜凇げ#琾’㈩鴒,一用硎荆杂谝桓鋈肷淞W樱涞乃婊该粒子的溅射率冉希绻婊∮趛,则认为从阴极溅射出了一个原子,取另一个新的随机数再次与较,如果随机数仍小于执右跫ńι涑鲆桓鲈樱一个入射粒子可以溅射出不止一个靶原子;如果随机数大于溅射率蛎挥蠺哟右跫ū唤ι涑隼矗悸窍乱个人射粒子,再取新的随机数进行比较,一直循环下去,ú牧系谋砻娼岷夏珽岫是阈值能量,#琺:分别是溅射原子和入射离子的质量,其他参量是表征阴极材料性质的量,¨。J橇W釉硕较蛴氡砻娣ㄏ叩募薪牵溅射原子的初始能量和角度用随机数硎疚积分得溅射出原子的初始位置其中T餐舶刖叮А