文档介绍：天津理工大学
硕士学位论文
高频SAW滤波器的ZnO/金刚石多层膜制备及器件设计研究
姓名:崔健
申请学位级别:硕士
专业:物理电子学
指导教师:杨保和
20061201
本文围绕伽咖辒多层膜结构渡砻娌瞬ㄆ鞯难兄疲饕>褪摘要达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视系统中正在获得广泛的应用。声表面波滤波器工作频率缮砻娌ùúニ俣萔和叉指周期长度龆ǎ频声表面波瞬ㄆ鳎捎谒捎玫牟牧虾图庸すひ盏南拗疲壳暗纳砻娌ㄆ骷其工作频率很难达到=鸶帐哂蟹浅8叩纳砻娌ㄋ俣龋运3牡字谱鞯纳层膜瞬ㄆ饕殉晌9噬系囊桓鋈鹊恪围绕高频瞬ㄆ鞯难兄疲疚淖髁艘韵鹿ぷ鳎首先,对多层膜结构瞬ㄆ鞯脑斫辛瞬觯⒀芯苛嗽诓煌嘈蛃牡咨辖鸶帐纳ぁ7直鹪、街植煌嘈衬底上生长了金刚石薄膜,利用馐苑治觯砻鞑捎貌煌嘈偷某牡锥越鸶帐芯苛顺粱露榷越鸶帐∠虻挠跋臁7直鹪诮细吆徒系臀露认轮票赋隽私鸶石薄膜,在较高温度下生长的金刚石薄膜呈正六面体形,在沉积温度降低时,金刚石由总之,通过一系列的研究,本文研究了沉积工艺对薄膜性能的影响,并进一步对幕斫辛顺醪降奶剿鳎O乱徊街谱鱖/疍多层膜结构声表面波滤波器奠定了基础。声表面波骷哂行⌒突⒏呖煽俊⒍喙δ堋⒁恢滦院玫忍氐悖运诶/昀矗罅渴荽浜鸵贫ㄐ诺脑黾樱ㄐ牌荡蚋咂捣较蚶┱梗毙韪面波器件工作频率很容易达到,且具有很多优点,因此利用金刚石作为衬底制作多于瞬ㄆ鞯母呱俅úピ靥褰鸶帐椎闹票附辛搜芯浚捎肕技术制各出了金刚石薄膜,并利用、炔馐允侄味员∧そ辛吮碚鞣治觥由于论文侧重点的不同,有关沟绫∧さ闹票副究翁庾椴捎么趴亟ι渖しǎ体请见我的合作伙伴的论文。其次,⒉捎肕技术在得媾坠夤杵砻嬉熘释庋由ち私鸶帐∧∧そ辛朔治觯砻鞔送庋由さ谋∧の高定向的质量较高的金刚石薄膜;生长的取向有所影响;正六面体向正八面体转化;⒃诮鸶帐す讨校鸶帐Я2荒苤瓷の尴蕹ご螅鞲鋈∠蚓Я;ハ抑制,生长过程中达到一个稳定的大小。本文结合测试结果,对金刚石晶体的生长机理进行了初步的探索;此外,对声表面波滤波器的设计方法进行了简要的介绍。关键词:声表面波滤波器,鸶帐
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学位论文作者黼微导师瓤勿倍矿独创性声明签字日期:∥彬辏拢痜目学位论文版权使用授权书签字日期:辏码廊签字日期:誓辏墨盗垄墨盘至天盗理工大至有关保留、使用学位论文的规定。特授权天生理工大垒本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名:本学位论文作者完全了解得的研究成果,除了文中特另员曜⒑椭滦恢ν猓畚闹胁话渌或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编,以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复本和电子文件。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得
第·章综述表面波研究始于年由英滑表面传播的波”的论文F涫状未永砺凵喜髁顺嗣窃缫咽熘J粲谏宀ǖ纵波和横波以外,还可能存在另一种形式的波,这种波沿着半无限体表面传播。而且能量集中于表面。它具有很多优点:其一,它的传播速度比电磁波的传播速度要小五个数量级,利用这一特性不仅可以使电子设备体积缩小,重量减轻,而且还可使其性能大大制造声表面波器件。因此,。从那以后,骷诿裼昧煊虻挠τ帽涞闷毡椤今天,由于它们性能优异、体积小,重量轻、价格低及一致性高,在许多民用系统中起着关键的作用,今天生产的每一台电视机都包含了一只瞬ㄆ鳌径T谟邢叩缡酉统中,邻频传输瞬ㄆ鹘饩隽肆谄荡渲械牧谄蹈扇盼侍狻T谖佬墙邮栈校近年来,随着传输信息量和通信媒介的日益增加,例如微波通信系统的卫星通信和光通信,移动通信系统的专用电话、汽车电话、数字无绳电话和数字蜂窝式移动电话以通信系统,如典型的第三代系统、正在研制的第四代正交频分系统、各类短距无线末端通信标准等,其典型的技术特征和主要目的就是向用户提供具有更大信息传输代无线通信系统中,其所涉及的一切信道信号处理器件无不具有高频、宽带的特点。特别是在以扩频技术为标志的新一代无线电系统中,骷云浯罂泶其相对带宽范围从%.ト我馍杓、极佳的通带选择性、极小的带内畸变以及具有实时信号系统中信号前端、中频等信号处理的不可替代的关键器件。由于瞬ㄆ骶哂刑寤小墙橹事瞬ㄆ鞯脑/亓壳是介质滤波器的约以及传输特性优异,如非常陡的过渡带、高近阻带抑制等优点,适应了移动通讯设备微型化的发展方向,作为这力,