文档介绍：
发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究#
毛宁,孙熙*
(东北大学资源与土木工程学院,沈阳 110004)
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摘要:空气过滤材料的过滤性能是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一。本研究选取了发
泡海绵过滤防尘网作为研究对象,对其微观结构进行了分析。同时设计并开发了空气过滤材
料过滤性能测试装置,对发泡海绵过滤防尘网的过滤性能进行了实验研究。研究结果表明:
随着孔隙率的降低和过滤速度的降低,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加;而随着相对湿
度的增加,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加。
关键词:发泡海绵过滤防尘网;孔隙率;滤速;相对湿度
中图分类号:X51
Experimental study on the filtration performances of foam
sponge filter
MAO Ning, SUN Xi
(College of Resources and Civil Engineering, Northeastern University, Shenyang 110004)
Abstract: Filtration performance of air filter material is one of the key problems that hinder the
progress of the chip manufacturing technology. Foam sponge filter is experimentally researched in
the paper. Its microscope structure is analyzed. Meanwhile, air filter testing rig is developed and
filtration performances of foam sponge filter is stuied. The results shows: filtration efficiency
increaeses with the decrease of pore size and velocity and the increase of relative humidity.
Key words: Foam sponge filter; Pore size; Velocity; Relative humidity
0 引言
芯片生产需要的洁净环境,微粒的污染仍是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一。环
境的洁净程度,直接关系到芯片的成品率。目前超净系统失效的原因是由于过滤器容尘量小
导致使用时间的缩短,效率降低;系统设计、安装施工、服务等方面上不合理,致使系统漏
风;车间内风流不合理。目前国外的技术和产品对国外干净的大气环境适应性较好,当应用
在中国污染严重的大气环境时,无论使用寿命、过滤效率、还是可靠性都受到挑战。[1]
发泡海绵过滤网是由普通开孔软泡经网化处理加工而成。网化处理除掉了泡沫网络之间
原有的面膜或壁膜,得到了主体骨架网状结构。泡沫塑料的空隙率高达 97%,具有优异的
透气性、良好的柔软性和较高的机械强度。[2]用网泡作过滤材料,具有流动阻力小和滤出