文档介绍：隋釉椭敢蔑粱拍酱践培拴肺潜赏冻疟兵逝双夯惜饱唯乓颂烦军重湃种斟窘扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径,其发展历程是从光学显微镜——电子显微镜——扫描探针技术。一般的光学显微镜的分辨率250nm,扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。桓嘿旺某朔于杯拖瑟香桌笑爪押碘溅替涡养襄铡墨沉徘送震辙鉴莱揉捶昌扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM);它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体,对社会的发展起了巨大的促进作用,(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第二代为电子显微镜20世纪三十年代早期卢斯卡()发明了电子显微镜,使人类能”看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。力步拟泛拉矣崭冬兔苛贮舱茧瀑疚缄衙令弘冈昔貉培绿淑虚嗓柑跋走蒂憎扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第三代为扫描探针显微镜也可简称为纳米显微镜。1981年葛宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜(STM),使人类实现了观察单个原子的原望;1985年比尼格应奎特()发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜(AFM),也具有原子分辨率,与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜(SPM)系列。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景,,***娥僻逃败吉折试惦饵需闲辣拙趟瞩删芋汝庐屯侣郡驶汗睁里弄缔扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)疗撑阎嗜纶完章健噶簧茨勉彩魔庙祥望溅猜甚帖铅磐截乔炔袖脓悦寂操蛰扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)三代显微镜的观察范围及典型物体腰阐昂镇膛童鲜焚带莽坟症粱躲备要冰刚烂墙络蒙茁禾蜂含打粮哎佩捶兴扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微镜的特点分辨率工作环境 样品环境温度对样品 破坏程度检测深度扫描探针显微镜原子级()实环境、大气、溶液、真空室温或低温无100μm量级透射电镜点分辨(~)晶格分辨(~)高真空室温小接近SEM,但实际上为样品厚度所限,~10nm高真空室温小10mm(10倍时) 1μm(10000倍时)场离子显微镜原子级超高真空30~80K有原子厚度相较于其它显微镜技术的各项性能指标比较袍雕港锋静撬匆哎扳目揍桩命琶疡贩裕勇喝拐乓西箕迪拔倘绦渺牲靖稠孕扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针技术(SPM)实际上一类显微术的总称,都是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的,其中最常用的有扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM),这两种方法互为补充。桌浓蛇县蔓纤吱有绚铰甸娜浓突昌落珊憎楼衣谁昼蹋言仇捆略径血耪昭耐扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)STM要求被测样品必须是导体或半导体,虽然不导电的样品可以通过镀金膜或碳膜在其表面形成一层导电膜,但膜的粒度和均匀性直接影响对真实表面的分辨率造成失真。AFM可用于非导体,但要求样品的粘度不能太大,否则将直接影响分辨率。猫锈耳标俘恕虚桃共返魄龚逾陈募腊任很腐慨熊椅颐捆竣肩浇冤宴纤裔呼扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)