文档介绍：扫描电子显微镜杨云扫描电子显微镜?扫描电子显微镜的结构?扫描电子显微镜的原理?扫描电子显微镜的应用?扫描电子显微镜的样品制备扫描电子显微镜的结构由电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经聚焦缩小后形成具有一定能量、强度和直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下在试样表面做栅网式扫描。电子束与试样作用产生的二次电子或背散射电子的量随试样表面形貌而变,其产额正比于1/cosθ,电子信号被探测器收集转换成电讯号,经处理后得到反应试样表面形貌的二次电子像。-20μm扫描电子显微镜的观察过程?通过电子束穿过样品,由于样品中不同部位的厚度、成分、结构的不同,导致电子束能量的有所变化,通过探测器收集分析这些电子,从而通过转换器将电子的信号转变为我们眼睛可以识别的图像信号。扫描电子显微镜成像原理?二次电子成像:什么是二次电子??背散射电子成像:什么是背散射电子?不同位置散射二次电子和背散射电子的多少,通过电子信号到图像的转换过程,得到明暗程度不同的图像。?扫描电子显微镜通过什么反应物体的真实相貌?样品入射电子俄歇电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子TEMSEMSEM俄歇能谱能谱/波谱二次电子(secondary electron)?二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后,可脱离原子成为自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处,那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出,变成真空中的自由电子,即二次电子。二次电子来自表面5-10nm的区域,能量为0-50eV。背散射电子(back-scattered electron)?入射电子与原子相互作用经过弹性和非弹性散射又逸出试样表面电子的总称,背散射电子的能量很大,几乎和入射电子的能量差不多。背散射电子和样品原子序数有关,序数越大,背散射电子量越大。对于这样一张扫描电镜照片,为什么能清晰显示出其是片状还带有一个凹陷呢?引入衬度的概念。衬度的概念?形貌衬度( Topographic Contrast):形貌衬度是由于试样表面形貌差异而形成的衬度。?原子序数衬度:形貌衬度是由于试样原子序数差异而形成的衬度?电压衬度:由于试样表面电位差别而形成的衬度。