文档介绍：半导体制造工艺流程目录目录研究前言1(一)报告目的(ObjectiveofReport)1(二)研究范围(ResearchScope)4(三)研究区域(SurveyRegion)8(四)数据来源(DataSource)9(五)研究方法(ResearchApproaches)10(六)一般定义(GeneralDefinition)10(七)市场定义(ID)12(八)特别说明(Specification)13(九)研究对象(ResearchObject)一、2002年中国半导体设备市场环境综述14(一)半导体设备分类与技术发展现状16(二)世界半导体设备市场概况19(三)中国半导体设备产业及市场环境191、产业环境212、市场环境二、2002年中国半导体设备产业现状分析24(一)中国半导体设备的现状29(二)国内各主要半导体设备生产情况291、材料制备设备312、前工序设备333、后工序设备344、其他设备36(三)国内主要半导体设备生产厂家361、西安理工大学晶体生长设备研究所372、中国电子科技集团第四十五研究所383、中国电子科技集团第四十八所404、北京七星华创电子股份公司425、北京北仪创新真空技术有限责任公司436、中国科学院光电技术研究所(简称成都光电所)457、西北机器厂(七0九厂)468、铜陵市三佳电子(集团)有限公司479、北京华兴微电子有限公司4810、国投南光有限公司4911、四川南光真空科技有限公司4912、深圳波达超声工程设备有限公司5013、深圳丰德微电子有限公司5114、青岛旭光仪表设备有限公司5115、青岛旭升专用仪表设备有限公司5116、江阴市新潮科技有限公司5217、上海爱斯佩克环境设备有限公司三、2002年中国半导体设备市场现状分析53(一)市场总体状况531、市场规模与增长562、市场结构61(二)前工序设备市场611、市场分布642、供应情况67(三)封装设备市场69(四)半导体材料设备四、2003年及其未来五年中国半导体设备市场发展预测71(一)半导体设备发展趋势72(二)2003—2007年半导体设备市场展望表目录15表1集成电路制造工艺所需主要设备15表2世界主要半导体企业12英寸厂工艺特征与工艺研发16表31996-2002年世界半导体设备年销售情况17表42001-2002年世界半导体设备销售额18表52001—2002年世界主要半导体企业投资情况18表62002年世界前十大半导体设备供应商19表72002年世界前十大半导体测试与测量设备供应商24表8国产半导体专用设备的研制过程25表92001—2002年中国半导体设备销售情况26表10中的比较27表11中及研制单位27表122001—2002中国主要的半导体设备生产企业销售情况30表13国内满足不同晶体的生长设备30表142002年半导体材料制备设备的典型产品32表15前工序关键设备仪器技术水平33表16前工序关键设备及主要生产厂家34表17主要的后工序设备及生产厂家35表18测试设备及主要生产厂家35表19环境模拟及可靠性试验设备及生产厂35表20净化设备及生产厂53表21“七五”—“十五”期间国内半导体设备投资增长情况55表222000年之前国内主要外商投资半导体项目情况57表232002年中国