文档介绍：1OCADOCAD计算机辅助光学设计计算机辅助光学设计主讲:谢洪波主讲:谢洪波2一、任务一、。非接触测量,且误差小于4μm。第10讲测量显微镜设计实例3第10讲测量显微镜设计实例Γ=25×L=195mm2y==4μm二、分析二、分析1、主要光学参数4二、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例2、放大率分解目镜Γ目=5×,10×,×,15×,25×物镜β=×,4×,10×,40×,100×取:Γ目=10×β=×5二、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例3、目镜焦距f目'=250/Γ目=250/10=25mmΓ目=250/f目'6二、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例4、分划板大小2y1'=2y1×β=×==、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例5、目镜视场角ω2'=4o,2ω2'=8otgω2'=y1'/f目'==、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例6、物镜数值孔径NA≤Γ/300=25/300=:NA=≥300NA9二、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例7、显微镜分辨率σ===×===×=、分析二、分析第10讲测量显微镜设计实例8、瞄准精度验算仪器α==''/25=''人眼α=250×=