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温度对/量子点尺寸分布的影响刘仁俊,李天天,杨皓宇,王连锴,吕游,张宝林发光学报文章编号:.,舶Β虬蜒衚阰/曲血皊眆篴摘要:采用低压金属有机物化学气相沉积甅ㄖ票窯疓孔拥恪Mü圆煌の露琇河∑鰊狹印瓸,琧痳曲籑第卷第年的样品进行分析发现温度的变化对/量子点的相位角无明显影响,量子点的形状是透镜型。由于量子点特殊的应力分布。可实现量子点的“自限制”生长。量子点的化学势不连续性以及旎频影响使得量子点尺寸分布在一定范围内不连续,会出现两种尺寸模式的量子点生长。原子的表面迁移率对/量子点生长有较大的影响。升高温度可有效改善量子点的分立性,在升温过程中量子点体现出其熟化过程,高温时表面原子的解析附作用对量子点尺寸和密度的影响较大。关键词:/自组装量子点;尺寸分布;中图分类号:.文献标识码:痜,胁譫印￡冢珿詈肟箨锉萬纾η鷚祯仨駈渺,肌Ⅱ,Ⅱ玥叩卅馽叭甒籹A执笱У缱涌蒲в牍こ萄г杭晒獾缱友Ч抑氐懔:鲜笛槭遥A殖ご,,琙猯訣,硒础猲,絙珽一,加“:抽一甧颍甤:.,.玞.,簊收稿日期:一一:修订日期:一—基金项目:国家自然科学基金;集成光电子学国家重点联合实验室自主课题手钅作者简介:刘仁俊,男,江西南昌人,主要从事锑化物半导体材料和器件的研究。猰甤,.
万方数据
验峁胩致引言结构的半导体量子点器件被广泛应用于光纤通讯、红外探测和光伏电池领域圳。量子点器件的性能高度依赖于量子点的密度、尺寸和均匀性,而温度是影响量子点形貌的重要参数,所以探索最佳的生长温度成为量子点研究的关键。甂模式被认为是制备小尺寸、高密度和均匀性良好的自组织量子点的最佳模式牧嫌隚材料的晶格失配率是%,等难芯结果表明/异质外延结构会以狵模体分析研究较少且多集中于际鮗渲大量研究表明量子点形貌对温度较为敏感。。高度为—,密度为一量子点生长的因素较为复杂,需要进一步深入探讨。本文采用低压金属有机物化学气相沉积狹ㄖ票噶薌疓孔拥悖治了生长温度对/量子点形貌及尺寸分买采用水平式反应室的—璞钢票/量子点,以三乙基锑作为/。/量子点砻嫘蚊餐迹渖の露度如表尽T℃时,因原子的表面迁散,其中较大的岛平均直径约为.,平均高:。这是因为随着表面原子扩散距离自组织量子点特殊的电学和光学性质使其具有广阔的应用前景⋯。基于/量子点式进行生长。目前,/—~,且在低温下发现了非甂模式的界面位错式ぁ采用际跎疓孔拥愕报道迄今为止还比较少埂RS跋霨疓布的影响。源,三甲基镓为Ⅲ族源,在免处理—的半绝缘偏!。衬底上制备无盖层/量子点。中脑茨Χ髁课.×~痳猄型号的面形貌的分析。样品表征在空气中以轻敲模式下图~范围的分别为,℃。量子点的尺寸和密移率过低‘冶砻嬖永┥⒕,衬底表面出现小岛且分布比较紧密。,平均密度约×~。当温度升高至媸保甋拥那ㄒ坡立,小岛的直径下降至