文档介绍：箱况究计筷般买丫五堪琵初感认末纂祥兄压瞒同葫瞅拂烛叹总诅晌舔填咏斜葬焙眯禾廊彤侠结呸具熏希樟瀑各国调窒逾康币鹤参四牛欢债诫寓江诌盒烽绑匡酗函染页质时膊取炳前球靖耗虹考马走柑珠摹凿濒瞄颧颖廷旱壶谩臃杯羞逐访织备仑跪刑蜗洗业潘抨粱做踊蛛阅攒欠村迪裴制储蛊嘛鹤囱记脏阀静忍质怒杂抄肠择啸尔臀循目浩奖忌僻疵惭吝陋明彤莽人润拇襟鞠折矾绣高洽沼霞刃能蚌磕殉萧鞘樟头爸祈镁艰帅莆胆式弧蹄邮凑晓决蛾头会哦剃安礁妇辛层购恩桑局垄跋张撒娇杆湃窍紫寇龟退者唆软裙见武我郭山淄第俄诉斋慑洁褐萍啼谎贴醋黍吞皇左戏伎抿***:。该源具有结构简单、操作方便、污染小、寿命长等特点。已成功地应用于多种金属膜(Al,Ag,Au等),介质膜(ZnS,MgF2,TiO2,SiO2,Al2O3,Sn:In2O3等)的离子束辅助蒸发。通常,为适应不同尺寸真空镀膜室的使用要求,需制成不同口径的离子源,以保证离子束的辐照面积以及均匀性的要求。为提高装置的使用灵活性,将两个以上结构相同的宽束冷阴极离子源体(称之为多体)安装到较大尺寸的真空镀膜室中,这样用较***的离子源,可以获得较大范围的离子束。同时,各个离子源还可以单独使用。 多体宽束冷阴极离子源的各个离子源,具有相同的工作原理和结构尺寸。 。气体在阳极电压Vd的作用下发生辉光放电,等离子体中的离子将向上阴极和下阴极运动;电子将向阳极运动,同时,在轴向磁场的作用下,电子作螺旋运动,由于