磁控溅射制备全固态薄膜锂离子二次电池及其性能研究.pdf

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磁控溅射制备全固态薄膜锂离子二次电池及其性能研究“、池以其制作简单、形状任意、可靠性高、能量密度高和重量轻等优点。成为了微型器件及高效能源的优良选自美国橡树岭国家实验室,热的一个极其重要的技术一“。、成本低和环境友好等优点,“本文采用;,并研究了该薄膜全固态薄膜锂离子二次电池的制备是在型多功能超高真空磁控溅射镀膜系统中完成的,该系统由不锈钢真空主溅射室和具有磁力传动机构的进样库、退火炉和反溅靶位构成。该系统通过机械泵和分子泵组成两级真空抽取系统,本底真空度主溅射室可。进样室可达⋯。工作气体有氧气、氮气和氩气并通过质量流量控制仪分别独立控制。实验研究的全固态薄膜锂离子二次电池采用了如图镜谋∧さ绯亟峁梗杭玍:∧な抢锰瓷靶作为溅射靶,在高纯氩气%透叽垦酢%旌铣梢欢ǖ谋壤魑;%。正、负集电极薄膜则采用金属.%!#民用计算机、、卡、便携式电话、小型情报终端和腕式通信器材等也得到嚎焖俚姆⒄梗谕夤凵杓坪驮煨蛞彩侨招略乱臁?扇嵝匀ü烫∧。室组成,溅射室有鼋ι浒形唬抑饕S裳达制作的。然而。正极∧ず凸烫宓缃庵蔍。‘缱庸こ萄г海厍交缰耙导际跹г旱缙こ滔担髂喜厍齑笱锢硌г海η摘要:在不锈钢衬底上以粉末靶材为溅射靶源,利用射频磁控溅射技术制备出非晶态结构的。琲,薄膜,并借助扫描电子显徽镜馐允侄味员∧さ男翁斜碚鳌S么种沉积的材料依准作为蔫。池的负极、固体电解质和正极,金属钒则作为集电极,成功制备出全固态薄膜锂离子二次电池。实验结果表明,截止电位控制在~甇洳馐允保帽∧さ绯鼐哂辛己玫某浞诺缣匦裕痪次循环后,:全固态薄膜锂离子二次电池;磁控溅射;制备;电化学性能中图分类号:文献标志码:文章编号:籵全固态薄膜锂离子二次电池结构图.∞;通讯作者:任岳.『:⋯网络出版地址:⋯:】;:图收稿日期::¨小修回日期:】网络出版时间:疗篺资助项目:霞队『、琁、【’作者简介:∧わ胱拥绯兀贰籲:一.】甪荆琭埽.—
万方数据
峁胩致全固态薄膜锂离子二次电池制备步骤如下:在玻璃衬底上溅射沉积成膜,来确定每层薄膜的成膜质量与溅射功率、工作气体成分以及压强等溅射工艺之间的关系,测试膜厚和薄膜形貌,并利用自行设计的掩模板来镀膜,从而确定单层薄膜的电学特性;在厚度为的不锈钢衬底材料上依次溅射沉积负极集电极、负极、固体电解质、正极和正极集电极薄膜,其具体制备参数如表尽采用台阶仪珹薄膜的厚度,