文档介绍：大连理工大学
硕士学位论文
介质阻挡放电与直流辉光放电中OH自由基的光谱诊断
姓名:石慧明
申请学位级别:硕士
专业:等离子体物理
指导教师:王文春
20090601
摘要畂杂苫蚇苪╔疲姆⑸涔馄祝⑶矣子计算得出了恼穸露龋谟隣∑专文砸甇嗷ブ氐姆⑸涔馄字屑跞畂杂苫蚇苪粁苂自由基和∑,苀自由基和∑专∑,畂姆⑸涔馄浊慷认仍銮亢蠹跞酰诰嗬胂录ò本论文分别利用发射光谱技术和激光诱导荧光光谱技术对介质阻挡放电和直流辉光放电等离子体中自由基等活性物种进行诊断研究,主要结果如下:梅⑸涔馄准际踉诖笃瓜鲁晒Φ夭饬苛说F羝逑嫡胍话迨浇橹首璧放电产生的埔籜4鏐的和振动带序发射光谱强度和相应的瓹!W˙的穸虻姆⑸涔馄浊慷龋佣蟪鯫∑由基的发射光谱强度,同时还研究了埔籜的发射光谱强度随放电电压、放电频率、氮气流量及针板间距的变化规律。结果表明:随着放电电压和放电频率的增加,∑。掣∑的发射光谱强度逐渐增强;苆强度随通入氮气流量的增加没有明显变化;当针板间距逐渐增大时,谱▁.眉す庥盏加ü饧际醵栽诘推瓜路直鸲源克羝逑怠⒌F羝逑以及氦气携带水蒸气体系板一板式负直流辉光放电中产生的苆进行了诊断研究,并通过模拟计算得到了基态自由基的转动温度。谱╔—荧光光谱中种вü夤馄浊慷冉锨壳沂苤芪渌ü夥种Ц扇沤闲。。同时还研究了放电电压和放电气压对种вü馇慷鹊挠跋欤峁砻鳎捍克羝逑抵校琎分支荧光强度随放电电压的增加没有明显变化,当放电气压增加时种вü馇慷认嘤跞酰坏气携带水蒸气体系中,种вü馇慷人娣诺绲缪沟脑黾佣銮浚痹黾臃诺缙时,种вü馇慷认仍銮亢蠹跞酰⒃附近有一极值;氦气携带水蒸气体系中,种вü馇慷人娣诺绲缪沟脑黾佣飨栽銮浚痹黾臃诺缙故保琎分支荧光强度先增强后减弱,并在时出现一极值。纯水蒸气体系产生的ü夤馄妆镜自肷1仍诘F秃て羝逑抵胁ü夤馄妆镜自肷P『芏唷关键词:自由基;介质阻挡放电;直流辉光放电;发射光谱;激光诱导荧光光谱的发射光谱处有一极值。甇ü夤馄谱╔大连理工大学硕士学位论文
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学位论文题目:萄盈丝垫堕红望盟垂丝盘军盘塑坠坠净璋印遮鱼么畔作者签名:——毒壬爹辍R蝗掌冢骸3笞鴠辍9ぴ翵大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用内容和致谢的地方外,本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果,也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了·明确的说明并表示了谢意。
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昏辟挚一绪论介质阻挡放电介质阻挡放电的物理描述介质阻挡放电在一个大气压下,两个放电电极间至少有一个电极被不导电的绝缘介质覆盖或绝缘介质直接插入放电空间的一种放电形式,采用的电源是几十至数百德实恼医涣电源或脉冲高压电源。典型的介质阻挡放电其放电外观是由大量的随机分布的放电通道组成的丝状放电,每根细丝的直径大约为,¨考斗段В堑湫偷牧鞴饣鞔┓诺纾虼怂芴峁┐罅康幕钚晕镏离子、自由基、激发态原子和分子硗饨橹首璧卜诺缡窃诖笃瓜率迪值模恍枰U空系统,这样设备简单、成本低,有利于在线操作。具有了这样一些特定,它在臭氧生成【俊⒆挤肿拥取⒌壤胱犹逑允尽⒏吖β蔆激光器、室内气体的转化和利用、有机在介质阻挡放电中采用的具有代表性的三种不同的电极结构,如图所示【欢ぁ电极结构0宥园宓男问剑椒诺绲缂ū砻嬷挥幸桓龅缂ò灞痪到橹矢哺牵馐电极表面均有绝缘介质覆盖,这种结构放电的特点是放电发生在两层介质之间,避免了∞,也称无声放电ǔ9ぷ,而离子温度则为室温,电子密度为~一,总的平均电子密度为化合物的合成方面具有广泛的应用前景。一种很实用的电极结构,常用于制造臭氧发生器;其特点是结构简单,而且一侧裸露的金属电极可以有效地散发放电产生的热量。电极结构0宥园宓男问剑礁銎桨大连理工人学硕十学位论文~,图介质阻挡放电的典型电极结构..
等离子体与金属电极的直接接触,对于具有腐蚀性气体或高纯度等离子体,这种结构具有独特的优势:电极结构0宥