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激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展张勇,贾云海茫录N膆跤,沈学静,赵雷,王书明诤,韩鹏程,屈华阳,刘少尊引言表面分析基础理论,。对表面分析幕础理论、仪器装置及其工具相比较具有扫描面积大、。故目前广泛应用于冶金、牛物医学、环境、,雀叻直姹砻娣治黾际跸啾染哂形扌韪哒其中硎静ǔぁ#硎就妇档慕咕啵瓺表示准直后束腰的分辨率是理论值的倍左右或更大。宽度或其强度升至%和%的宽度,见图此宽度止越窄表明苴纵向分辨率超高,反之则分辨率第卷。第月在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析补充。关键词激光诱导击穿光谱;材料科学砻娣治觯挥τ媒中图分类号:文献标识码:,墙改攴伤俜⒄沟囊恢中碌姆治龇椒ǎ肫他传统的分析方法相比优点在于样品消耗鼍小、导电及不导电的物质均可分析、可在线实时远距离快速监控分析及仪器地质矿物等领域,美国著名光谱化学分析家其“眦“。关于综述性文章同前国内外已有许多学者对其进行了精彩回顾并对其发展前景进行展望衔狶泻艽蟮姆⒄骨绷Α作为囊桓觯び梅种Я煊蛞槐砻娣治觯加纪的年代中期,与传统的扫描电子显微镜/能晕色散谱仅/.,电子探针显微分析空、样品前处理简单、分析速度快等优点。成为传统表面分析。叩挠辛Σ钩洹横向分辨率横向分辨率由激光束的波长,发散角及光学聚焦系统等因素所决定,见式直径,由式叮知采用短的波长,短的焦距及宽的准盏束腰可提高横向分辨率,、热容、导热率及透镜对光束的聚焦质量有关,通常实际纵向分辨率纵向分辨率是指其强度降至最初强度的%和%的越低。。镀层的厚度由式硎.,.琾,痔芯孔茉海本北京纳克分析仪器有限公司,北京本┯猩ń鹗粞芯孔茉海本泄刂士蒲г嚎蟛试囱芯克1本牧稿日期::基金项目:国家重大科学仪器设备开发专项资助作者简介:张勇,年生,钢铁研究总院博士研究生:.ㄑ读O等:.甿
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!鰉一啦睮击卿Ⅳ唧酬甜嘲蔻髈,描分析,扫描面积,步进电机步距坤空脚砻娣治鯨瞧髯槌元素分布分析辤蕖!尽╬甶荆杉蟮氖菀酝枷竦男问椒从矯和等元素速率。扑慵丛诓牧狭煊蛟K胤植挤治取对含有及姆勰┮苯鸷铣裳飞问分辨率约为坤芯糠⑾諥蚈及和K爻鱿璺治觯嵯蚍直媛市∮。慷粤ひ丈母咛几衷陔财肪持薪猩光谱学与光谱分析第卷式中,△声为到达界面层所需的脉冲数,砥骄旦其中硎疽阎2牧系暮穸龋П硎净鞔┮阎2牧虾穸人的脉冲数。表面分析ǔS杉す馄鳌⒛艽啡贫迸电机,充氩样品室、脉冲延时发生器、光谱仪、。对生产钢样扫描分析,扫描面积,”ɑ蘸辖鹛塾階勰┗煸炔⒓