文档介绍：学号:2008020876
研究生姓名:许士才
导师姓名:满宝元
所在学院:物理与电子科学学院
专业名称:原子与分子物理
联系方式:**********
E - m a i l :xushicai001@
单位代码 10445
学号 2008020876
分类号
硕士学位论文
论文题目β-FeSi2 半导体薄膜的制备及
性能的研究
学科专业名称原子与分子物理
申请人姓名许士才
导师姓名满宝元教授
论文提交时间 2011 年 4 月 10 日
独创声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的
研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其
他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得(注:如没
有其他需要特别声明的,本栏可空)或其他教育机构的学位或证书使用过的材料。
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签字日期: 年月日签字日期: 年月日
山东师范大学硕士学位论文
目录
摘要................................................................... Ⅰ
Abstract ................................................................ Ⅳ
第一章绪论............................................................ 1
β-FeSi2 的晶体结构和基本性质............................................................................. 1
β-FeSi2 薄膜的制备方法......................................................................................... 4
国内外研究现状...................................................................................................... 4
选题依据和本论文的内容安排.............................................................................. 5
第二章薄膜理论模型及实验装置............................................ 7
薄膜生长动力学...................................................................................................... 7
脉冲激光沉积技术原理.......................................................................................... 8
薄膜的性能表征.................................................................................................... 10
第三章不同靶材制备下的β-FeSi2 薄膜的性质比较............................ 13
在硅衬底上生长β-FeSi2 薄膜的步骤.................................................................. 13
β-FeSi2 薄膜性质的分析..................