文档介绍：大连理工大学
硕士学位论文
大气压毛细管内等离子体射流特性及应用研究
姓名:黄文同
申请学位级别:硕士
专业:等离子体物理
指导教师:李寿哲
20091201
摘要相比于低气压等离子体技术,大气压等离子体技术在降低工业费用,以及在极端条气压类辉光等离子体发生技术,以射频容性耦合阻挡激励和直流微孔空心阴极放电为主石英毛细管内两针状电极之间的高密度大气压等离子体放电,并在不同的实验参量加电压、电源频率、掺杂活性气体浓度等拢直鸲哉饬街值壤胱犹宸诺缃辛说缪件下的材料加工处理等方面体现了优势。大气压冷等离子体射流是近年来兴起的一项大要方式,得到的等离子体射流长度短、密度低,而且有的还需要在起辉阶段使用触发放电点火,否则放电较难实现,重复性较差。因此研究一种简单而实用的冷等离子体射流发生技术就成了一项很有意义的工作。本文采用普通医用针头作为电极,内径较小的绝缘管作为介质管,通过施加频率为恼业缪梗迪至穗财诮橹首璧卜绞较鲁さ牡サ缂ǖ壤胱犹迳淞鳎约霸和光谱学诊断。在研究大气压空心单电极等离子体射流时,发现随着外加电压的增加,石英毛细管内的等离子体放电存在由一开始的电晕放电过渡到羽毛状的辉光放电,再转为丝状放电的变化过程,石英管内的超长氩等离子体射流实际上是很多丝状放电沿着管内壁蜿蜒延伸的效果。此外,等离子体射流的长度是随着外加电压以及电源频率的增加而增加的,并基本与电流的增长保持一致,但等离子体射流在丝状放电模式下的功率密度却基本保持不变。当用光化线强度测定石英管内单电极氩氧等离子体射流中的氧原子含量时,发现氧气含量为%时可以产生最多的氧原子。在研究石英毛细管内两针型电极之间产生的等离子体放电时,发现随着外加电压的增加,管内等离子体放电存在自反常辉光放电向弧光放电的过渡过程,且从放电的伏安特性曲线来看,不同电源频率以及不同针尖间距都会对其产生影响。另外,用自由基的谱线合成法测得石英管内等离子体弧光放电时的气体温度在克展宽法测得管内等离子体弧光放电时的电子密度数量级为‘6蓖霉饣线强度测定石英管内两针型电极之间产生的氩氧弧光等离子体中的氧原子含量时,发现放电产生的氧原子数目受氧气掺杂百分比的影响很小,几乎保持不变。此外,我们还进行了有关大气压空心单电极等离子体射流应用的初步研究。不仅利用单电极氩氮等离子体射流作了金属表面硬度提高的实验,还利用单电极氩氧等离子体射流作了一些材料表面的亲水性处理和水的酸化处理。关键词:空心单电极等离子体射流;毛细管;发射光谱诊断;大气压等离子体应用陨希盟顾大连理工大学硕士学位论文
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.:阩三月兰生日学位论文题目:叁玺垂查丝篁塑笪圣兰竺塑坷夹┩蓟ホ益筮圆大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用内容和致谢的地方外,本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果,也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处,本人愿意承担相关法律责任。作者签名:
:二玺轻日期:哔年卫月日期:圣盟年』三月生日学位论文题目:叁垒匿筮查丝篁堕茎鱼兰生堕堕丝些坠垄望塑鱼爱丧闻大连理工大学学位论文版权使用授权书本人完全了解学校有关学位论文知识产权的规定,在校攻读学位期间论文工作的知识产权属于大连理工大学,允许论文被查阅和借阅。学校有权保留论文并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印、或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。作者签名导师签名大连理工大学硕士学位论文:
髀等离子体概述等离子体中由于富含电子、离子、亚稳态分子以及活性自由基等成分,使其有着很好的化学物理活性,从而体现了很高的应用价值。而其中的低温等离子体物理与技术,经历了一个由世纪年代初的空间等离子体研究向年代和年代以材料为导向的研究领域的大转变,高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等为低温等离子体科学的发展带来了新的机遇和挑战。现在,低温等离子体物理与应用已经是一个具有全球影响的重要科学与工程,对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。据不完全统计,低温等离子体技术在半导体工业、材料防腐蚀、聚合物薄膜、等离子体合成、等离子体煤化工、等离子体冶金、等离子体“三废淼攘煊虻那痹谑谐每年可达一千几百亿美元目前,多数低温等离子体是在几百帕的低气压下通过气体放电产生的,对于大规模工业生