文档介绍:大连理工大学
硕士学位论文
大气压下空气中气流对介质阻挡放电的影响
姓名:王战
申请学位级别:硕士
专业:等离子体物理
指导教师:王德真;任春生
20081201
要摘低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极活泼的反应性物种,这些活性粒子更易于和所接触的材料表面发生反应,因此可用于对材料表面进行处理。目前,多数低温等离子体是在几百帕的低气压下通过气体放电产生的,但对于大规模工业生产,低气压等离子体存在投资高、应用复杂、难于连续生产等问题。因此,最适合用于工业生产的是大气压下空气中放电产生的等离子体。由于介质阻挡放电篋谝欢ㄌ跫驴勺1为均匀的类辉光放电,因此已被经用于等离子体表面处理。但是在大气压下空气氛围中,上述的类辉光状态却很难获得,其放电大多由直径很小但电流密度很大的细丝组成,难以对材料表面进行均匀处理,甚至会造成介质或试品表面烧蚀或穿孔,因此在大气压下空气中获得分布均匀且强度适中的放电将有着重要的意义。本研究发现,高速气流的使用将有助于增强大气压下空气诵械奈榷ㄐ院途刃浴一逯档缪的可调交流电源,采用平行板电极结构ゲ喔哺墙橹,并利用一个吹风机控制放电空间的气体流速,研究了高速气流对大气压下空气蚊布扒慷鹊挠跋臁N恼率紫冉樯芰嗽谖奁饔跋焯跫碌缪埂频率、放电间隙等实验条件对运行的影响,实验发现:在无气流影响下,电压越高,则放电越强,流光通道也趋于固定;频率增大,放电强度也有所增强,且正半周期增加的幅度明显快于负半周期,流光通道更加稳定;放电间隙减小,击穿电压明显减小,且放电呈现出貌似均匀的大气压类辉光放电。而后,本文详细讨论了气流对介质阻挡放电的影响,通过与上一组数据对比发现:加入高速气流后,放电斑图从丝状转变为带状,且带状的曲率值随着气流速度的加大而加大,放电强度随着气流速度的加大而减小。此外,放电形貌和强度的变化还受到放电频率、放电电压和放电间隙等因素的影响,本文重点讨论了放电频率的作用,研究发现:频率越高,放电强度越弱,以至于当放电频率接近于时,放电强度随着气流速度增大而减小的趋势已经变得很不明显。为了验证以上结论,我们分别测量了放电频率在时的等离子体发射光谱,结果表明:发光强度随着气流的加入而减小,且变化趋势明显;但是随着频率的减小,气流对发光强度的影响变小。以上趋势与电流强度的变化相符合。本文还发现:当固定气流速度时,带状斑图的曲率并不随电压、关键词:等离子体;气流;介质阻挡放电;斑图大连理工大学硕士学位论文本实验使用频率频率和间隙的改变而发生变化。.
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叁塾垒售印累垫盘盘丝堕主堑遮扣釉互邋趔圣年显隆弧耆铡大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下进行研究本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果,也不包含其他已申请若有不实之处,本人愿意承担相关法律责任。学位论文题目:工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用内容和致谢的地方外,学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。作者签名:日期:
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绪论分别设他们的密度是,胁和亿。在等离子体中,电子密度与离子密度是相同的,即见吼,等离子体概述等离子体中通常含有电子、离子、活性自由基、亚稳态等等,因而有很好的化学和物理活性¨6渲械姆瞧胶獾壤胱犹寮吹臀碌壤胱犹逵捎诘缱游露仍洞笥诶胱游露一般认为电子温度高于离子温度的倍贾缕宓奈露群艿停谀承┏『仙踔两咏谑温乜棚,因而有非常广阔的应用前景。产生低温等离子体的一种最重要的方式是气体放电方法,它主要跟电极结构,放电电压,放电频率,放电气体及气压有关啦R话阍诘推瓜氯易形成较均匀的辉光放电或者是类辉光放电。但是这势必需要真空系统,就会不可避免的增加成本,降低效率。因此在工业生产上有很大的局限性。人们经过不断的探索,提出用在大气压下空气中形成的介质阻挡放电代替它,这样就不需要真空系统,可以节省成本,并大大提高效率啊5墙橹首璧卜诺缡橇鞴夥诺纾懿痪榷伊鞴馔ǖ滥诰奂撕强的能量,会对待处理材料进行灼烧,因此用此方法