文档介绍：第卷第期红外与激光工程年月
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像元间足巨/量子阱红外焦平面探测器
史衍丽,曹婉茹,周艳,杨明珠,何丹
昆明物理研究所,云南昆明
摘要:量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低
等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研
制出.%的高占空比长波量子阱焦平面探测器,峰值波长,平均峰值探测率.
·“。· ~。第一支样管的噪声等效温差为.,响应率不均应性.%,面阵盲元率
%。在温度下获得了和. 处的建筑物的清晰成像。实验结果充分显示了器件设计
的正确性及研制技术的可控性。
关键词:/; 量子阱红外探测器; 长波; 焦平面; 噪声等效温差
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:———
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引言阱探测器光谱响应带宽窄
, 不同波段之间的光学串音
/量子阱焦平面探测器基于成熟的小,特别适宜制备双色、多色量子阱焦平面探测器。在
Ⅲ.材料生长和器件制备技术,具有器件均匀性好、近年的时间内,长波大面阵和双色量子阱焦平面
可操作像元高、产量高、成本低的生产优势。而且量子探测器获得了重要而迅速的发展,成为第三代红外焦
收稿日期:—一; 修订日期:—
基金项目:武器装备预研先研究资助项目
作者简介:史衍一,女,山东郓城人,研究员高工,博士,从事半导体红外焦平面探测器器件物理、器件研制及研究工作。
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第期史衍丽等: 像元间距/量子阱红外焦平面探测器
平面探测器的优选材料和器件之一。。
昆明物理研究所年来一直致力于发展红外探
测器,拥有了第一代单元和小线列探测器,第二代中
等格式的凝视焦平面、线列焦平面研发生产线。于
年月开始进行量子阱红外焦平面探测器的研
制,在一年多的时间内依靠一流的材料、器件工艺线,
以及成熟的杜瓦和制冷机支撑技术,量子阱红外焦平
面探测器取得了快速的发展】。第一支具有高占空比图计算得到的材料吸收光谱
的样管的测试结果为.,在测.
试条件可比的条件下,达到了目前面探测器性能水平。研制的量子阱焦平面探测. 焦平面制备技术
器显示了很好的均匀性和重复性。
成像显示,获得了. 处的烟囱及地面景色的清的芯片,每个芯片含两个大小为
晰成像。. 、. 的阵列。器件工艺在×
芯片上进行,包括上下电极制备、光栅耦合、台
量子阱焦平面探测器的制备面制备、反射金属制备、二氧化硅钝化以及焊接金属
制备。器件加工完成后,划片为两个管芯,将其减薄至
. 材料结构
~ ,通过铟柱与硅读出电路互连,再
量子阱探测器材料为常规的型/
对量子阱材料进行无损减薄至约。焦平面入
量子阱材料,
射光表面没有进行任何背增透处理。探测器
量子阱薄